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      Quantum Design China(Beijing)
                                
                
                
      

							
      
                        			
      
		
      
	
      
	
	
      
		
      
            
      
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      太赫茲近場光學顯微鏡-THz-NeaSNOM
      
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								更新時間：2022-10-12 15:21:37瀏覽次數(shù)：222次
							
      
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      經(jīng)營模式：其他
      
						
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      --30nm光學信號空間分辨率太赫茲（THz）光源波長較大，一般在300微米左右。由于衍射極限的存在，THz遠場測量系統(tǒng)的光學空間分辨率一般被限制在150微米左右。該THz光遠場測量結(jié)果的準確度經(jīng)常無法滿足對材料科學研究，尤其是需要納米分辨率的微細尺度材料分布研究（例如半導體芯片中各個組成：源極，漏極，柵極）的實驗。THz-NeaSNOM近場光學顯微鏡的出現(xiàn)為此難題提供了一個很好的解決方案。德國n......
      
				
      
				
      
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			            --30nm光學信號空間分辨率太赫茲（THz）光源波長較大，一般在300微米左右。由于衍射極限的存在，THz遠場測量系統(tǒng)的光學空間分辨率一般被限制在150微米左右。該THz光遠場測量結(jié)果的準確度經(jīng)常無法滿足對材料科學研究，尤其是需要納米分辨率的微細尺度材料分布研究（例如半導體芯片中各個組成：源極，漏極，柵極）的實驗。THz-NeaSNOM近場光學顯微鏡的出現(xiàn)為此難題提供了一個很好的解決方案。德國neaspec公司與Fraunhofer IPM在neaspec公司neaSNOM近場光學顯微鏡的基礎(chǔ)上，已經(jīng)成功研發(fā)了一套易用使用且THz系統(tǒng)的空間分辨率達到30nm的實驗設(shè)備。
			        
      
			    
      
                			    
      關(guān)鍵詞：光學顯微鏡  顯微鏡
      
                                                				
      
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