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      行業(yè)產(chǎn)品

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      北京半導體專用設(shè)備研究所


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      DS-801A/D 自動分選機

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      參  考  價面議
      具體成交價以合同協(xié)議為準

      產(chǎn)品型號

      品       牌

      廠商性質(zhì)其他

      所  在  地

      聯(lián)系方式:劉先生 查看聯(lián)系方式

      更新時間:2022-10-10 10:06:50瀏覽次數(shù):407次

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      經(jīng)營模式:其他

      商鋪產(chǎn)品:1條

      所在地區(qū):

      聯(lián)系人:劉先生

      產(chǎn)品簡介

      應用領(lǐng)域DS-801A/D自動分選機是IC生產(chǎn)過程中用于將表面質(zhì)量的管芯從藍膜拾取,并放置到晶粒盒里的一種自動化設(shè)備

      詳細介紹


      應用領(lǐng)域
      DS-801A/D自動分選機是IC生產(chǎn)過程中用于將表面質(zhì)量的管芯從藍膜拾取,并放置到晶粒盒里的一種自動化設(shè)備??蛇m用多種尺寸的管芯和多種規(guī)格的晶粒盒(Tray盤和JEDECK盤),并實現(xiàn)了藍膜到藍膜等多種工藝流程。
      本機有著合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計及良好的操作性、穩(wěn)定性、高可靠性。雙工作臺結(jié)構(gòu)實現(xiàn)晶粒盒上下料時設(shè)備不停機。

      技術(shù)特點

      適用于8″及以下晶圓加工;

      可輸出至2″~4″規(guī)格的晶粒盒(Tray盤);

      可選單頂針與多頂針模塊,并支持快速更換;

      支持自動擴膜功能,擴膜行程可控;

      軟件系統(tǒng)功能強大,運行可靠,支持MAP圖功能;

      高效視覺檢測系統(tǒng),可進行芯片識別定位及表面缺陷檢測;

      支持分類拾揀功能;

      雙工作臺實現(xiàn)收料不停機。

      大尺寸JEDECK盤,或到藍膜等其它有特殊要求的治具上

      未找到相應參數(shù)組,請于后臺屬性模板中添加

      循環(huán)時間

      ≥300ms

      (2mm以下芯片、包括PR時間)

      拾取機構(gòu)

      吸 頭

      表面拾取型

      放片精度

      ±50μm (XY定位) ±5° (θ)

      拾取臂

      180°旋轉(zhuǎn)拾取臂

      芯片尺寸

      □0.5×0.5~10×10mm

      □2×2~5×15mm(可選)

      □5×5~5×25mm(可選)

      頂針Z向行程

      2mm(max.)支持單針/多針(4針)

      晶片臺

      (輸入)

      Wafer尺寸

      ≤8″

      工作臺

      (輸出)

      承載臺數(shù)量

      □單(A) □雙(D)

      承載金屬環(huán)

      □8″(標準)

      □6″(可選)

      有效行程

      130×300 mm

      行程

      200×200 mm

      重復精度

      ±0.005mm/0.2mm

      重復精度

      ±0.005mm/0.2mm

      Tray盤規(guī)格

      2″/3″(可選)/4″(可選)

      擴晶功能

      自動擴晶

      料盤夾持形式

      機械(標準)/真空(可選)

      操作系統(tǒng)

      Windows XP

      操作方式

      鼠標、鍵盤、操作手柄、按鈕

      設(shè)備尺寸

      1400(W)×1200(D)×1700(H) mm

      所需電源

      220V±10%

      設(shè)備重量

      900Kg±10%

      所需氣壓

      ≥0.5Mpa

      設(shè)

      1.芯片識別對準與墨點(大于芯片面積的20%)識別功能;

      2.包裝盒(Tray盤)識別與對準功能;

      3.丟片檢測與提醒功能;

      4.Mapping功能;

      5.分Bin功能

      6.可兼容6″劃切金屬環(huán)

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