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北京半導體專用設(shè)備研究所
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更新時間:2022-10-10 10:06:50瀏覽次數(shù):407次
聯(lián)系我時,請告知來自 智能制造網(wǎng)應用領(lǐng)域DS-801A/D自動分選機是IC生產(chǎn)過程中用于將表面質(zhì)量的管芯從藍膜拾取,并放置到晶粒盒里的一種自動化設(shè)備
應用領(lǐng)域 DS-801A/D自動分選機是IC生產(chǎn)過程中用于將表面質(zhì)量的管芯從藍膜拾取,并放置到晶粒盒里的一種自動化設(shè)備??蛇m用多種尺寸的管芯和多種規(guī)格的晶粒盒(Tray盤和JEDECK盤),并實現(xiàn)了藍膜到藍膜等多種工藝流程。 本機有著合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計及良好的操作性、穩(wěn)定性、高可靠性。雙工作臺結(jié)構(gòu)實現(xiàn)晶粒盒上下料時設(shè)備不停機。 |
技術(shù)特點
◎適用于8″及以下晶圓加工;
◎可輸出至2″~4″規(guī)格的晶粒盒(Tray盤);
◎可選單頂針與多頂針模塊,并支持快速更換;
◎支持自動擴膜功能,擴膜行程可控;
◎軟件系統(tǒng)功能強大,運行可靠,支持MAP圖功能;
◎高效視覺檢測系統(tǒng),可進行芯片識別定位及表面缺陷檢測;
◎支持分類拾揀功能;
◎雙工作臺實現(xiàn)收料不停機。
◎大尺寸JEDECK盤,或到藍膜等其它有特殊要求的治具上
循環(huán)時間 | ≥300ms (2mm以下芯片、包括PR時間) | 拾取機構(gòu) | 吸 頭 | 表面拾取型 | |
放片精度 | ±50μm (XY定位) ±5° (θ) |
| 拾取臂 | 180°旋轉(zhuǎn)拾取臂 | |
芯片尺寸 | □0.5×0.5~10×10mm □2×2~5×15mm(可選) □5×5~5×25mm(可選) | 頂針Z向行程 | 2mm(max.)支持單針/多針(4針) | ||
晶片臺 (輸入) | Wafer尺寸 | ≤8″ | 工作臺 (輸出) | 承載臺數(shù)量 | □單(A) □雙(D) |
| 承載金屬環(huán) | □8″(標準) □6″(可選) |
| 有效行程 | 130×300 mm |
| 行程 | 200×200 mm |
| 重復精度 | ±0.005mm/0.2mm |
| 重復精度 | ±0.005mm/0.2mm |
| Tray盤規(guī)格 | 2″/3″(可選)/4″(可選) |
| 擴晶功能 | 自動擴晶 |
| 料盤夾持形式 | 機械(標準)/真空(可選) |
操作系統(tǒng) | Windows XP | 操作方式 | 鼠標、鍵盤、操作手柄、按鈕 | ||
設(shè)備尺寸 | 1400(W)×1200(D)×1700(H) mm | 所需電源 | 220V±10% | ||
設(shè)備重量 | 900Kg±10% | 所需氣壓 | ≥0.5Mpa | ||
設(shè)
備
功
能 | 1.芯片識別對準與墨點(大于芯片面積的20%)識別功能; 2.包裝盒(Tray盤)識別與對準功能; 3.丟片檢測與提醒功能; 4.Mapping功能; 5.分Bin功能 6.可兼容6″劃切金屬環(huán) |
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