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      行業(yè)產(chǎn)品
      
							
						
      
						
        
							
      • 行業(yè)產(chǎn)品
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      杭州華盼科技有限公司
                                
                
                
      

							
      
                        			
      
		
      
	
      
	
	
      
		
      
            
      
                當(dāng)前位置：杭州華盼科技有限公司>>光刻機(jī)>>H94-17G型4″單面光刻機(jī)
            
      
			
      
				
      
					
      H94-17G型4″單面光刻機(jī)
      
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      參  考  價(jià)面議  
      
					                    
      具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      
				
      
				
				
      
						
      
							
      產(chǎn)品型號H94-17G型
      
							
      品       牌
      
		                    
      廠商性質(zhì)其他
      
		                    							
      所  在  地杭州市
      
						
      
                        
                    
      
					 							        										
      聯(lián)系方式：錢經(jīng)理   查看聯(lián)系方式
      
									                                                 
      
						
      
							
      
								更新時(shí)間：2023-10-09 11:25:02瀏覽次數(shù)：209次
							
      
							聯(lián)系我時(shí)，請告知來自 智能制造網(wǎng)
						
      
				
      
				
			
      
            
						
      
			
      
									
      
                                
      
                    產(chǎn)品簡介
                
      
				
      
                      
      
                                                                      
      
					
      簡要描述：主要用于中小規(guī)模集成電路、半導(dǎo)體元器件、光電子器件、聲 表面波器件的研制和生產(chǎn)。
      
				
      
				
      
                    詳細(xì)介紹
                
      
			    
      
			        
      
			            
        主要用途 
        
         主要用于中小規(guī)模集成電路、半導(dǎo)體元器件、光電子器件、聲 表面波器件的研制和生產(chǎn)。
        
         
        
        主要構(gòu)成 
        主要由高精度對準(zhǔn)工作臺、雙目分離視場CCD顯微顯示系統(tǒng)、曝 光頭、氣動系統(tǒng)、真空管路系統(tǒng)、直聯(lián)式真空泵、防震工作臺和附件箱等組成。
          
        
        主要功能特點(diǎn) 
        1.適用范圍廣
         適用于Φ100mm以下，厚度5mm以下的各種基片(包括非圓形基片)的對準(zhǔn)曝光。
         2.結(jié)構(gòu)*
         具有氣浮式找平機(jī)構(gòu)和可實(shí)現(xiàn)真空硬接觸、軟接觸、微力接觸的真空密著機(jī)構(gòu)；具有真空掩膜版架、真空片吸盤。
         3.操作簡便
         采用翻板方式取片、放片；按鈕、按鍵方式操作，可實(shí)現(xiàn)真空 吸版、吸片、吸浮球、吸掃描鎖等功能，操作、調(diào)試、維護(hù)、修理 都非常簡便。
         4.可靠性高
         采用進(jìn)口電磁閥、按鈕、定時(shí)器；采用的氣動系統(tǒng)、真空管路系統(tǒng)和精密的機(jī)械零件，使本機(jī)具有非常高的可靠性。
         5.特設(shè)“碎片”處理功能
         解決非圓形基片、碎片和底面不平的基片造成的版片分離不開所引起的版片無法對準(zhǔn)的問題。
        
         
                
          
           主要技術(shù)指標(biāo)  
        ◆曝光類型：單面
        ◆曝光面積：≥φ120mm
        ◆光束不平行度：≤6°
        ◆曝光不均勻性：≤±5%
        ◆曝光強(qiáng)度：≥5mw/cm2
        ◆曝光分辨率：≤1.5μm
        ◆曝光模式：套刻曝光
        ◆對準(zhǔn)精度：1μm
        ◆掃描范圍：X：±40mm   Y：±35mm
        ◆對準(zhǔn)范圍：X、Y調(diào)節(jié)±4mm，旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)90°
        ◆較大升降：8mm
        ◆密著曝光方式：密著曝光可實(shí)現(xiàn)硬接觸、軟接觸和微力接觸曝光；
        ◆顯微系統(tǒng)：雙視場CCD系統(tǒng)；放大倍數(shù)5X～300X連續(xù)可調(diào)（物鏡   1.1～7.5倍連續(xù)可調(diào)）；雙物鏡距離可調(diào)范圍11mm～100 mm；計(jì)算機(jī)圖像處理系統(tǒng)；
        ◆掩模版尺寸：2.5″×2.5″、4″×4″、5″×5″
        ◆基片尺寸：φ2″、φ3″、φ4″
        ◆基片厚度：≤5 mm
        ◆曝光燈功率：直流200W
        ◆曝光定時(shí)：0～999.9秒可調(diào)
        ◆電源：AC220V  50Hz 1kW
        ◆空氣：P≥0.1MPa，耗氣量0.2m3/小時(shí)；
        ◆真空度：-0.07MPa～-0.09MPa
        ◆外形尺寸：918×680×1450(L×W×H)mm
        ◆重量：～160kg 
              		    
         
        
        真空吸附式板架
        
        
        
        
        X、Y掃描機(jī)構(gòu) | 氣浮式找平機(jī)構(gòu)
              		  
                
        
         
                
			        
      
			    
      
                			    
                                                				
			
      
			
      
		
      
	
      
	
    
      
		
      
			
      
				
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