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      深圳市科晶智達科技有限公司


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      VTC-16-D 小型三靶等離子濺射儀

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      參  考  價面議
      具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

      產(chǎn)品型號

      品       牌

      廠商性質(zhì)其他

      所  在  地

      聯(lián)系方式:廖勝眉查看聯(lián)系方式

      更新時間:2022-10-14 13:18:58瀏覽次數(shù):269次

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      產(chǎn)品簡介

      VTC-16-D是一款小型直流磁控等離子濺射鍍膜儀,其靶頭尺寸為2英寸,并且樣品臺的高度可以調(diào)節(jié)

      詳細(xì)介紹

      VTC-16-D是一款小型直流磁控等離子濺射鍍膜儀,其靶頭尺寸為2英寸,并且樣品臺的高度可以調(diào)節(jié)。此款鍍膜儀設(shè)計主要是制作一些金屬薄膜。

      性能指標(biāo)和基本配置
      特點

      ● 特別為SEM樣品鍍導(dǎo)電性薄膜設(shè)計
      ● 體積小巧,操作簡單,容易上手。
      ● 擁有小型磁控靶頭,可以鍍金銀鉑等金屬。

      主要參數(shù)

      ● 輸入電源:220V AC 50/60Hz
      ● 功率:200W
      ● 輸出電壓:500 VDC
      ● 濺射電流:0-50 mA可調(diào)
      ● 濺射時間:0-120S可調(diào)

      濺射腔體

      ● 采用石英腔體,尺寸:166 mm OD x 150 mm ID x 150 mm H
      ● 密封:采用不銹鋼平法蘭的O形密封圈

      濺射頭&樣品臺

      ● 濺射頭可安裝靶材直徑為2英寸,厚度0.1 - 2.5mm
      ● 濺射時間1-120S可調(diào)
      ● 儀器中安裝有直徑為50mm的不銹鋼樣品臺,其與濺射頭之間距離可調(diào)。
      ● 可選購加熱型樣品臺,其加熱溫度為500℃
      ● 安裝有一可手動操作的濺射擋板,可進行預(yù)濺射。
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      真空系統(tǒng)

      ● 安裝有KF25真空接口
      ● 數(shù)字真空壓力表(Pa)
      ● 此系統(tǒng)可通入氣體運行
      ● < 1.0E-2 Torr (采用機械泵)(僅供參考,詳情請點擊)
      ● < 1.0E-5 Torr(采用渦旋分子泵)(僅供參考,詳情請點擊)
      ● 可在本公司選購各種真空泵
      1

      進氣

      ● 設(shè)備上配1/4英寸進氣口,方便連接氣瓶
      ● 設(shè)備前面板上裝有一氣流調(diào)節(jié)旋鈕,方便調(diào)節(jié)氣流

      靶材

      ● 靶材尺寸要求:Φ50mm×(0.1 - 2.5) mm(厚度)
      ● 此設(shè)備標(biāo)配為銅靶
      ● 可在本公司選購各種靶材

      各種靶材的參數(shù)(僅供參考) 對于濺射各種金屬靶材,需要摸索的濺射參數(shù),下表是本公司實驗所設(shè)置的參數(shù),歡迎您帶料來科晶實驗室摸索工藝(僅供參考,詳情請點擊)
      靶材種類 真空度(Pa) 濺射電流(mA) 時間(s) 濺射次數(shù)
      Au 31-33 28-30 100 1
      Ag 31 28 100 1
      薄膜測厚儀(可選)

      可在本公司選購薄膜測厚儀安裝在濺射儀上
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      產(chǎn)品尺寸 L460 mm × W 330 mm × H 540 mm
      1
      凈重 20 kg(不包括泵)
      使用注意事項

      ● 有時為了達到理想的薄膜厚度,可能需要多次濺射鍍膜
      ● 在濺射鍍膜前,確保濺射頭、靶材、基片和樣品臺的潔凈
      ● 要達到薄膜與基底良好結(jié)合,請在濺射前清潔基材表面
      ● 超聲波清洗(詳細(xì)參數(shù)點擊下面圖片):(1)丙酮超聲,(2)異丙醇超聲-去除油脂,(3)吹氮氣干燥,(4)真空烘箱除去水分。
      ● 等離子清洗(詳細(xì)參數(shù)點擊下面圖片):可表面粗糙化,可激活表面化學(xué)鍵,可祛除額外的污染物。
      ● 制造一個薄的緩沖層(5納米左右):如Gr,Ti,Mo,Ta,可以應(yīng)用于改善金屬和合金的附著力。
      ● 請使用>5N純度氬氣等離子體濺射
      ● 濺射鍍膜機可以放入Ar或N2氣體手套箱中濺射
      ● 由于能量低,該模型不適用于涂層的輕金屬材料如Al,Mg,Zn,Ni。請考慮我們的磁控濺射鍍膜機或熱蒸發(fā)鍍膜機。點擊下面圖片查看細(xì)節(jié)
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      超聲波清洗機 等離子清洗機 大功率磁控濺射儀 蒸鍍儀

      警告

      ● 注意:產(chǎn)品內(nèi)部安裝有高壓元件,禁止私自拆裝,帶電移動機體。
      ● 氣瓶上應(yīng)安裝減壓閥(不包括),保證氣體的輸出壓力限制在0.02兆帕以下,以安全使用。
      ● 濺射頭連接到高電壓。為了安全,操作者必須在關(guān)閉設(shè)備前裝樣和更換靶頭。

      認(rèn)證

      1CE認(rèn)證

      保修期 一年保修,終身技術(shù)支持。
      特別提示:
      1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
      2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)
      點擊查看售后服務(wù)承諾書。
      暫無內(nèi)容
      暫無內(nèi)容

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