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      蘇州技佳精密儀器有限公司


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      SJ6000激光干涉儀

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      產品型號

      品       牌

      廠商性質其他

      所  在  地蘇州市

      聯(lián)系方式:陳龍查看聯(lián)系方式

      更新時間:2022-09-13 12:24:14瀏覽次數:340次

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      經營模式:其他

      商鋪產品:106條

      所在地區(qū):江蘇蘇州市

      聯(lián)系人:陳龍

      產品簡介

      產品風格:一鍵測量儀 產品簡介:SJ6000激光干涉儀...

      詳細介紹

      詳情介紹

      1. 產品簡介

        激光干涉儀以光波為載體,其光波波長可以直接對米進行定義,且可以溯源至國家標準,是迄今*的高精度、高靈敏度的測量儀器,在制造領域應用廣泛。

        SJ6000激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術于一體,產品采用進口高性能氦氖激光器,其壽命可達50000小時;采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術,可實現高精度、抗力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號采集、調理及細分技術,可實現4m/s的測量速度,以及納米級的分辨率;采用高精度環(huán)境補償模塊,可實現激光波長和材料的自動補償;采用高性能計算機控制系統(tǒng)及軟件技術,支持中文、英文和俄文語言,友好的人機界面、向導式的操作流程、簡潔化的記錄管理。

        SJ6000激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、測速下分辨率高等優(yōu)點,結合不同的光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下,可實現線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等。

      2.產品配置

        SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。

        其中,線性鏡組為標配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成??蓾M足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補償。

      二.工作原理

        激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入第二個反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,重新匯聚之后返回激光器,其中會有一個探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉(見圖)。若光程差沒有變化時,探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。

        若光程差有變化時,探測器會在每一次光程變化時,在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號,這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。

       

      三. 產品功能特點

      精度高

        SJ6000激光干涉儀以干涉技術為核心,其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術,可實現高精度、抗力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高精度環(huán)境補償模塊,可實現激光波長和材料的自動補償;干涉鏡與主機分離設計,避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩(wěn)定可靠。

      功能廣

        ● 可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量;

        ● 可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;

        ● 可實現龍門機床雙軸同步測量;

        ● 可實現對機床回轉軸的測量與校準;

        ● 可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,為設備誤差修正提供依據;

        ● 具有動態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等;

        ● 支持手動或自動進行環(huán)境補償。

      軟件強

        ●  友好的人機界面;

        ●  豐富的應用功能模塊;

        ●  向導式的操作流程;

        ●  簡潔化的記錄管理;

        ●  支持中文、英文和俄文界面;

               ● 支持企業(yè)專屬模板定制。

      四. 技術指標

      4.1. 技術指標

       系統(tǒng)性能

          1、測量方式:單頻

          2、穩(wěn)頻精度:0.05ppm

          3、動態(tài)采集頻率:50 kHz

          4、預熱時間:5-10分鐘

          5、工作溫度范圍:0~40℃

          6、環(huán)境溫度范圍:0~40℃

             7、存儲溫度范圍:-20℃~70℃


       環(huán)境補償示值誤差

          1、空氣溫度傳感器:±0.2℃ (0-40℃),分辨率0.01℃

              2、材料溫度傳感器:±0.1℃ (0-40℃),分辨率0.01℃

          3、空氣濕度傳感器:±6% (0-95%)

          4、大氣壓力傳感器:±1mBar (650-1150mbar)

       

         線性測量

          1、測量距離:0-40m

          2、測量精度:0.5ppm (0-40℃)

          3、測量分辨率:1nm

          4、測量速度:4m/sec

       

         角度測量

          1、軸向量程:0-15m

          2、測量范圍:±10°

          3、測量精度:±0.6%R±0.5±0.1M μm/m(M為光學鏡移動距離,單位:m)

          4、測量分辨率:0.1μm/m

       

         直線度測量

          1、軸向量程:0.1-4.0 m

          2、測量范圍:±2.5 mm

          3、測量精度:±0.5% R±0.5±0.15M2 μm(M為光學鏡移動距離,單位:m)

          4、測量分辨率:0.01μm

       

         垂直度測量

          1、測量范圍:±3/M mm/m

          2、測量精度:±0.5% R±2.5±0.8M μm/m(M為光學鏡移動距離,單位:m)

          3、測量分辨率:0.01μm/m

       

         平面度測量

          1、軸向量程:0-15 m

          2、測量范圍:±1.5 mm

          3、測量精度:±0.6% R±0.02 M2 μm/m(M為光學鏡移動距離,單位:m)

          4、測量分辨率:0.1μm

       

         回轉軸分度精度測量

          1、角度測量范圍:0-360°

          2、精密轉臺角度增量:5°

          3、精密轉臺分度精度:±1秒

          4、精密轉臺重復性:0.2秒

       

      4.2. 尺寸重量與供電

          便攜箱尺寸:560×360×250(基礎系統(tǒng)),560×460×270(完整系統(tǒng))

          基本重量(含三腳架,包裝):15Kg

          供電電源:110~265VAC

       

       5. 系統(tǒng)組件

      5.1. 系統(tǒng)組件

      1) SJ6000主機:1臺

      2) 環(huán)境補償單元:1臺

      3) 光學鏡組:

      線性測量光學鏡組:1套(標準配置)

      小型線性光學鏡組:1套(標準配置)

            小角度測量光學鏡組:1套(選配)

            直線度測量光學鏡組:1套(選配)

            垂直度測量光學鏡組:1套(選配)

            平面度測量輔助附件:1套(選配)

      回轉軸測量精密轉臺:1套(選配)

      4) 測量軟件:1套

      5) 便攜式筆記本電腦:1臺

      6) 便攜式儀器配件箱:1個

      7) 通用三腳架:1個

      8) 云臺附件:1套

      9) 磁性表座:2套

      10)  產品使用說明書:1套

      11)  產品合格證、保修卡:1套

      12)  免費保修:1年

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