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      • 行業(yè)產(chǎn)品

      上海爾迪儀器科技有限公司


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      Diener FEMTO系列 等離子清洗機(jī)

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      參  考  價(jià)面議
      具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

      產(chǎn)品型號

      品       牌

      廠商性質(zhì)其他

      所  在  地上海市

      聯(lián)系方式:張經(jīng)理查看聯(lián)系方式

      更新時(shí)間:2024-08-08 10:47:50瀏覽次數(shù):201次

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      經(jīng)營模式:其他

      商鋪產(chǎn)品:110條

      所在地區(qū):

      聯(lián)系人:張經(jīng)理

      產(chǎn)品簡介

      Diener FEMTO系列 等離子清洗機(jī)

      詳細(xì)介紹

      德國Diener electronic成立于1993年,是世界低溫等離子工業(yè)的,是一家專門研發(fā)和制造低溫低壓等離子清洗機(jī)、等離子射頻電源和大氣(常壓)等離子清洗機(jī)的高科技企業(yè)。
      用途:
      Diener等離子清洗機(jī)可用于清洗、刻蝕、磨砂和表面準(zhǔn)備等??蛇x擇40KHz、13.56MHz和2.45GHz三種射頻發(fā)生器,以適應(yīng)不同的清洗效率和清洗效果需要。
      Diener等離子清洗/刻蝕機(jī)具有成本低廉、操作靈活的特點(diǎn),主要適合于高科技生產(chǎn)單位的以下場合:
      半導(dǎo)體開發(fā)、集成電路開發(fā)、真空電子行業(yè)、生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)等等。
      Diener等離子清洗/刻蝕機(jī)具有以下特點(diǎn):
      可以更靈活地操作,簡便地改變處理氣體的種類和處理程序;不會(huì)對操作人員的身體造成任何傷害;其成本對于等離子處理方法來說是微不足道的。

        Femto A

           Femto C

         Femto D

      Femto B

            Femto E

      Femto 等離子系統(tǒng)能夠以不同的形式進(jìn)行整合,例如以模塊系統(tǒng)的形式。在下文中您可以大致了解能夠與Femto 等離子系統(tǒng)一同使用的見的選裝件。Femto 等離子系統(tǒng)主要應(yīng)用于以下領(lǐng)域:

      • 分析

      • 考古

      • 汽車行業(yè)

      • 研究和開發(fā)部門

      • 半導(dǎo)體技術(shù)

      • 小批量生產(chǎn)

      • 塑料技術(shù)

      • 醫(yī)療技術(shù)

      • 微系統(tǒng)技術(shù)

      • 傳感器

      • 滅菌

      • 紡織技術(shù)

      技術(shù)參數(shù):

      系列

      Femto

      控制系統(tǒng)

      半自動(dòng)型

      PCCE 控制系統(tǒng) (MicrosoftWindows CE)

      PC 控制系統(tǒng) (Microsoft Windows POS Ready 2009)

      體積

      1.9~6L

      真空腔室

      圓形不銹鋼件,配有蓋子
      (大約Φ100 mm, 278 mm 或者長 600 mm

      矩形不銹鋼件,配有鉸鏈的門
      (約寬 103 x 285 x 103)

      配有蓋子的圓形鋁材,或者配有鉸鏈的門
      (大約Φ 95 mm, 280 mm 或者長 600 mm

      配有蓋子的圓形石英玻璃 (UHP),或者配有鉸鏈的門
      (大約Φ95 mm, 280 mm 或者長 600 mm

      配有蓋子的硼硅玻璃 (UHP) 或者配有鉸鏈的門
      (大約Φ 95 mm,長 280 mm 或者長 600 mm

      電極

      單層或多層

      RIE

      樣品支架

      (選項(xiàng):水冷型)、石英玻璃舟皿、粉末轉(zhuǎn)鼓、散裝件轉(zhuǎn)鼓、鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃

      氣源

      針型閥

      質(zhì)量流量控制器 (MFCs)

      壓力計(jì)

      Pirani

      Baratron(適用于腐蝕性氣體版本)

      計(jì)時(shí)器

      數(shù)字型

      高頻電流發(fā)生器

      40 kHz: 功率 0 - 100 W0 - 1000 W

      13.56 MHz;功率 0 - 50 W0 - 300 W

      12.45 GHz: 功率 0 - 100 W;0 - 300 W

      所有發(fā)生器均為 0 - 99% 無級可調(diào)型

      真空泵

      KASHIYAMA

      電源

      供電電源:臺(tái)式設(shè)備為 230 V,立式設(shè)備為 400 V/3 相位

      • 其他選項(xiàng)

      備件套件、壓力計(jì)、腐蝕性氣體設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、Faraday Box、等離子體聚合配件、測試墨水、 氧氣發(fā)生器、慢速通風(fēng)裝置、慢速抽吸裝置、TEM樣品架法蘭、維護(hù)/服務(wù)、當(dāng)?shù)卣Z言的文件、現(xiàn)場安裝,包括培訓(xùn)??蓱?yīng)要求提供的其他選項(xiàng)。


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