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      行業(yè)產(chǎn)品

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      廣州東銳科技有限公司


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      掃描電子顯微鏡 SU3800/SU39002

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      更新時(shí)間:2022-11-21 11:02:04瀏覽次數(shù):404次

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      商鋪產(chǎn)品:94條

      所在地區(qū):

      產(chǎn)品簡(jiǎn)介

      產(chǎn)品簡(jiǎn)介日立高新推出的掃描電鏡SU3800/SU3900兼具操作性和擴(kuò)展性,結(jié)合眾多的自動(dòng)化功能,可高效發(fā)揮其高性能

      詳細(xì)介紹

      產(chǎn)品簡(jiǎn)介

      日立高新推出的掃描電鏡SU3800/SU3900兼具操作性和擴(kuò)展性,結(jié)合眾多的自動(dòng)化功能,可高效發(fā)揮其高性能。SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉(cāng),可應(yīng)對(duì)大型樣品的觀察。

      ①SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉(cāng),可應(yīng)對(duì)大型樣品的觀察

      ■ 樣品臺(tái)可搭載超大/超重樣品

      · 通過(guò)更換樣品提示,可防止由于與樣品的接觸而損壞設(shè)備或樣品

      · 選配樣品交換倉(cāng),可在主樣品倉(cāng)保持真空的狀態(tài)下快速更換樣品,大大提高了工作效率

      · 具備樣品臺(tái)移動(dòng)限制解除功能,提高了自由度*

      · 紅外CCD探測(cè)器,提高了樣品臺(tái)移動(dòng)的安全性

      ■ 支持全視野移動(dòng)。SEM MAP支持超大樣品的全視野觀察

      · GUI聯(lián)合,可配備樣品倉(cāng)室導(dǎo)航相機(jī)

      · 覆蓋整個(gè)可觀察區(qū)域

      · 支持360度旋轉(zhuǎn)


      ②隨著各種自動(dòng)化功能的強(qiáng)化,操作性能得到了進(jìn)一步優(yōu)化。

      ■ 一個(gè)鼠標(biāo)就能夠輕松操作的簡(jiǎn)約GUI

      ■ 各種自動(dòng)化功能

      · 自動(dòng)調(diào)整算法經(jīng)改良后,等待時(shí)間減少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)

      · 提高了自動(dòng)聚焦精度

      · 搭載Intelligent Filament Technology(IFT)

      ■ Multi Zigzag,可實(shí)現(xiàn)多區(qū)域的大視野觀察

      ■ Report Creator,可利用獲得的數(shù)據(jù)批量生成數(shù)據(jù)報(bào)告

      ③可提供滿足測(cè)試需求的應(yīng)用解決方案

      ■ 可滿足多種觀察需求的探測(cè)器

      · 搭載高靈敏度UVD*,支持CL觀察

      · 高靈敏度半導(dǎo)體式背散射電子探測(cè)器,切換成分/凹凸等多種圖像

      ■ 配備了多功能超大樣品倉(cāng),可以搭載多種配件

      ■ SEM/EDS一體化功能*

      ■ 三維顯示測(cè)量軟件 Hitachi Map 3D*

      ■ 支持圖像測(cè)量軟件Image pro

      產(chǎn)品參數(shù)

      ITEM

      SU3800

      SU3900

      二級(jí)電子分解能

      3.0nm(加速電壓30kV、WD=5mm、高真空模式)

      15.0nm(加速電壓1kV、WD=5mm、高真空模式)

      背散射電子分解能

      4.0nm(加速電壓30kV、WD=5mm、低真空模式)

      倍率

      ×5~×300,000(照片倍率*1)

      ×7~×800,000(實(shí)際顯示倍率*2)

      加速電壓

      0.3kV~30kV

      低真空度設(shè)定

      6~650 Pa

      圖像位移

      ±50µm(WD=10mm)

      樣品尺寸

      200mm直徑

      300mm直徑

      樣品臺(tái)

      X

      0~100mm

      0~150mm

      Y

      0~50mm

      0~150mm

      Z

      5~65mm

      5~85mm

      R

      360°連續(xù)

      T

      20°~+90°

      可觀察范圍

      130mm直徑(R并用)

      200mm直徑(R并用)

      可觀察高度

      80mm(WD=10mm)

      130mm(WD=10mm)

      電機(jī)驅(qū)動(dòng)

      5軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)

      電子光學(xué)系統(tǒng)

      電子槍

      中心操控式鎢絲發(fā)射

      物像鏡頭光圈

      4孔可動(dòng)光圈

      檢測(cè)系統(tǒng)

      二級(jí)電子檢測(cè)器、高靈敏半導(dǎo)體背散射電子檢測(cè)器

      EDX分析WD

      WD=10mm(T.O.A=35°)

      圖像顯示

      自動(dòng)光軸調(diào)整功能

      自動(dòng)光束調(diào)整(AFS→ABA→AFC→ABCC)

      自動(dòng)光軸調(diào)整(實(shí)時(shí)級(jí)別對(duì)齊)

      自動(dòng)調(diào)整光束亮度

      自動(dòng)圖像調(diào)整功能

      自動(dòng)亮度和對(duì)比度控制(ABCC)

      自動(dòng)對(duì)焦控制(AFC)

      自動(dòng)標(biāo)記和焦點(diǎn)功能(ASF)

      自動(dòng)燈絲飽和度調(diào)整(AFS)

      自動(dòng)光束對(duì)準(zhǔn)(ABA)

      自動(dòng)啟動(dòng)(HV-ON→ABCC→AFC)

      操作輔助功能

      光機(jī)旋轉(zhuǎn)、動(dòng)態(tài)聚焦、圖像質(zhì)量改善功能、數(shù)據(jù)輸入(點(diǎn)對(duì)點(diǎn)測(cè)量、角度測(cè)量、文本)、預(yù)設(shè)放大、樣品臺(tái)位置導(dǎo)航功能(SEM MAP)、光束標(biāo)記功能

      配件

      ■硬件:軌跡球、操縱桿、操作面板、壓縮機(jī)、高靈敏度操作低空探測(cè)器(UVD)、紅外CCD探測(cè)器、攝像機(jī)導(dǎo)航系統(tǒng)■軟件:SEM數(shù)據(jù)管理器外部通訊接口、3D捕獲、裝置臺(tái)移動(dòng)限制解除功能、EDS集成

      配件(外部裝置)

      能量散射X射線分析儀(EDS)、波長(zhǎng)色散X射線分析儀(WDS)、
      各種外部功能臺(tái)(加熱臺(tái)、冷卻臺(tái)、牽引臺(tái))

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