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      行業(yè)產(chǎn)品
      
							
						
      
						
        
							
      • 行業(yè)產(chǎn)品
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      北京英格海德分析技術(shù)有限公司
                                
                
                
      

							
      
                        			
      
		
      
	
      
	
	
      
		
      
            
      
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      過程氣體分析質(zhì)譜儀
      
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      參  考  價面議  
      
					                    
      具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      
				
      
				
				
      
						
      
							
      產(chǎn)品型號
      
							
      品       牌
      
		                    
      廠商性質(zhì)其他
      
		                    							
      所  在  地
      
						
      
                        
                    
      
					 							        										
      聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式
      
									                                                 
      
						
      
							
      
								更新時間：2022-10-16 10:11:52瀏覽次數(shù)：164次
							
      
							聯(lián)系我時，請告知來自 智能制造網(wǎng)
						
      
				
      
				
			
      
            
						
      
			
      
									
      
                                
      
                    產(chǎn)品簡介
                
      
				
      
                      
      
                                                                      
      
					
      The HPR-30 is a residual gas analyser configured for analysis of gases and vapours in vacuum processes and for vacuum diagnostics.
      
				
      
				
      
                    詳細介紹
                
      
			    
      
			        
      
			                        
       HPR-30真空過程氣體分析系統(tǒng)(Process Gas Analyser)，適用于監(jiān)測分析殘余氣體和真空工藝過程中的氣體組成及變化。 
             
        
       ·簡潔的桌上型，移動推車或控制臺架結(jié)構(gòu) 
             ·Direct re-entrant流孔板，差式泵，以達到宜的靈敏度 
             ·軟離子化技術(shù)，分析復(fù)雜有機物，或表觀MS研究 
             ·MASsoft軟件控制，或由局域網(wǎng)進行多個系統(tǒng)控制 
             ·氣動閥自動控制；出現(xiàn)電力不足或壓力過大等不安全狀況時可啟用手動隔離裝置 
             ·自動、同時數(shù)據(jù)取得、分析，實時顯示、報警  
             
        
       ·質(zhì)量數(shù)范圍：   1～200 amu(標(biāo)準(zhǔn)配置); 300、510、1000amu可選  
       
       ·高靈敏度：     5ppb  
       
       ·取樣壓力：     10-4mbar～1mbar 標(biāo)準(zhǔn)配置  
       
                              1mbar～30bar 選配  
       
       ·穩(wěn)定性好：     24h以上，小于峰高的±0.5%  
       
       ·過程控制開關(guān)  
       
       ·信號輸入、輸出接口  
       
        
             
      Hiden HPR-30 Series Process Gas Analysers (1.2 MB)  
       Mass Spectrometers for Thin Films, Plasma and Surface Engineering (1.1 MB)  
       
       AP0002 - Surface Characteristics of Parylene-C Films in an Inductively Coupled O2/CF4 Gas Plasma (211 KB)  
       
       Partial Pressure Control in Reactive Sputtering (343 KB)  
       
       HPR-30 Monitoring TiN Depsoition (113 KB)  
       HPR-30 Vacuum Process Gas Analyser (1.4 MB)
               
			        
      
			    
      
                			    
      關(guān)鍵詞：氣體分析  過程控制
      
                                                				
      
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