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北京世紀(jì)科信科學(xué)儀器有限公司

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大平臺顯微激光拉曼光譜儀

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更新時間：2022-12-14 11:47:02瀏覽次數(shù)：227次

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產(chǎn)品簡介

大平臺顯微激光拉曼光譜儀

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡介：

本儀器是一款可以對樣品進(jìn)行目鏡觀察、相機(jī)成像、拉曼光譜檢測以及拉曼光譜成像等功能的集成化拉曼光譜儀。

儀器由拉曼光譜儀、拉曼共焦模塊、大平臺檢測顯微鏡等構(gòu)成。

特點(diǎn)：

1.全新的MX大平臺檢測顯微鏡，支持300mm晶圓及17英寸液晶面板的檢查，含4、6、8、12英寸多種轉(zhuǎn)盤，可適用不同尺寸的晶圓檢查。

2.可以同時插入三個不同波長的拉曼光譜儀檢測模塊，并且可在軟件上進(jìn)行不同光譜儀間的切換，即可實(shí)現(xiàn)多波長拉曼的快速自動檢測。

3.可支持405nm、532nm、633nm、785nm、830nm、1064nm等多個波長，且可搭配不同性能的光譜儀，如非制冷、制冷、深度制冷等，以滿足客戶對不同樣品、檢測精度的不同需求。

4.若選配自動平臺，還可以實(shí)現(xiàn)自動點(diǎn)掃描進(jìn)行高光譜成像。

技術(shù)參數(shù)

顯微鏡參數(shù)：

光學(xué)系統(tǒng)	無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)	調(diào)焦機(jī)構(gòu)	粗微動同軸調(diào)焦，微動格值：1微米
			行程：35mm
目鏡	大視野（視場數(shù)25mm）	物鏡轉(zhuǎn)器	六孔轉(zhuǎn)換器
物鏡	5X、10X、20X、50X、100X 無限遠(yuǎn)明暗場半復(fù)消金相物鏡	載物臺	平臺面積：718X420
			移動范圍：356X305
			帶離合器手柄
		電動平臺	平臺面積：495X641
			移動范圍：306XXI06
			重復(fù)精度：(3+L/50)um
		照明系統(tǒng)	明暗場反射照明器
			內(nèi)置視場/孔徑光欄
			帶濾色片與偏光裝置插槽
三目鏡筒	瞳距55mm-75mm，	CCD適配鏡	0.5X C-mount
	分光比：50/50，100/0，0/100
觀察方式	明場、暗場、偏光、DIC	其它	高精度測微尺

包裝清單

拉曼光譜儀參數(shù)：

拉曼光譜范圍	200-3600cm-1
分辨率	<15cm-1@25μm slit
激光器	532±1nm，線寬≤0.2nm
激光功率穩(wěn)定性	≤3% P-P(@2hrs)
輸出功率	0-100mW 可調(diào)
濾光片激光截止深度	OD8
工作溫度	0-40℃
工作濕度	5-80%
激光器壽命	5000hrs

關(guān)鍵詞：拉曼光譜儀光譜儀顯微鏡轉(zhuǎn)換器離合器

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