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      行業(yè)產(chǎn)品

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      沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司


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      混氣系統(tǒng)3路質(zhì)子GSL-3Z

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      產(chǎn)品型號(hào)

      品       牌

      廠商性質(zhì)其他

      所  在  地沈陽(yáng)市

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      更新時(shí)間:2023-03-02 09:08:33瀏覽次數(shù):187次

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      經(jīng)營(yíng)模式:其他

      商鋪產(chǎn)品:912條

      所在地區(qū):遼寧沈陽(yáng)市

      聯(lián)系人:經(jīng)理

      產(chǎn)品簡(jiǎn)介

      混氣系統(tǒng)3路質(zhì)子GSL-3Z

      詳細(xì)介紹

      產(chǎn)品簡(jiǎn)介:混氣系統(tǒng)3路質(zhì)子GSL-3Z用于控制一種到三種的氣體流經(jīng)真空密封的管式爐,這種氣體控制系統(tǒng)安裝在移動(dòng)架內(nèi),管式爐可以放在移動(dòng)架上面,氣體控制系統(tǒng)的前面板上有控制并顯示氣體流量的調(diào)節(jié)閥,可以用于CVD系統(tǒng)及退火爐,用來(lái)研究氣體環(huán)境對(duì)材料的影響,在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用,廣泛應(yīng)用于電子工藝設(shè)備,如擴(kuò)散、氧化、外延、CVD、等離子濺射以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、混氣配氣系統(tǒng)及其它分析儀器。

       

       

      產(chǎn)品型號(hào)

      混氣系統(tǒng)3路質(zhì)子GSL-3Z

      主要特點(diǎn)

      精度高,運(yùn)行穩(wěn)定可靠,工作壓力范圍寬,可在高壓或真空條件下工作,且操作使用方便。

      技術(shù)參數(shù)

      1、電源:185-245V  50Hz

      2、輸出功率:18W

      3、控制范圍:控制器1——0-100SCCM、控制器2——1-199SCCM、控制器3——1-499SCCM

      5、準(zhǔn)確度:±1%FS

      6、線性:±0.5-1.5%

      7、重復(fù)精度:±0.2%FS

      8、響應(yīng)時(shí)間:氣特性1-4s,電特性10s針閥:316不銹鋼

      9、工作壓差范圍:0.1-0.5 MPa

      10、壓力表測(cè)量范圍:-0.1-0.15MPa0.01 MPa/grid

      11、混氣罐:Ø80mm×120mm

      12、截止閥:Ø1/4″,316不銹鋼針閥

      13、工作溫度:5-45

      產(chǎn)品規(guī)格

      尺寸:600mm×600mm×650mm


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