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      行業(yè)產(chǎn)品

      • 行業(yè)產(chǎn)品

      沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司


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      混氣系統(tǒng)2路質(zhì)子GSL-2Z

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      產(chǎn)品型號

      品       牌

      廠商性質(zhì)其他

      所  在  地沈陽市

      聯(lián)系方式:經(jīng)理查看聯(lián)系方式

      更新時間:2023-03-02 09:06:40瀏覽次數(shù):221次

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      經(jīng)營模式:其他

      商鋪產(chǎn)品:912條

      所在地區(qū):遼寧沈陽市

      聯(lián)系人:經(jīng)理

      產(chǎn)品簡介

      混氣系統(tǒng)2路質(zhì)子GSL-2Z

      詳細介紹

      產(chǎn)品簡介:混氣系統(tǒng)2路質(zhì)子GSL-2Z用于控制一種或兩種的氣體流經(jīng)真空密封的管式爐,這種氣體控制系統(tǒng)安裝在移動架內(nèi),管式爐可以放在移動架上面,氣體控制系統(tǒng)的前面板上有控制并顯示氣體流量的調(diào)節(jié)閥,可以用于CVD系統(tǒng)及退火爐,用來研究氣體環(huán)境對材料的影響,在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用,廣泛應(yīng)用于電子工藝設(shè)備,如擴散、氧化、外延、CVD、等離子濺射以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、混氣配氣系統(tǒng)及其它分析儀器。

       

       

      產(chǎn)品型號

      混氣系統(tǒng)2路質(zhì)子GSL-2Z

      主要特點

      精度高,運行穩(wěn)定可靠,工作壓力范圍寬,可在高壓或真空條件下工作,且操作使用方便。

      技術(shù)參數(shù)

      1、電源:185-245V  50Hz

      2、輸出功率:18W

      3、制范圍:控制器1——1-199SCCM、控制器2——1-499SCCM

      4、壓力:3×106  Pa

      5、準(zhǔn)確度:±1%FS

      6、線性:±0.5-1.5%

      7、重復(fù)精度:±0.2%FS

      8、響應(yīng)時間:氣特性1-4s,電特性10s針閥:316不銹鋼

      9、工作壓差范圍:0.1-0.5 MPa

      10、壓力表測量范圍:-0.1-0.15MPa0.01 MPa/grid

      11、混氣罐:Ø80mm×120mm

      12截止閥:Ø1/4″,316不銹鋼針閥

      13、工作溫度:5-45

      產(chǎn)品規(guī)格

      尺寸:600mm×600mm×650mm


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