小型粉末PVD包覆系統(tǒng)VTC-16PW

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更新時間：2023-02-24 14:54:30瀏覽次數(shù)：157次

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沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡介

小型粉末PVD包覆系統(tǒng)VTC-16PW

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品詳細(xì)介紹： 小型粉末PVD包覆系統(tǒng)VTC-16PW是一款小型粉末包覆系統(tǒng)，主要有2英寸磁控濺射頭和振動樣品臺組成。粉末在振動樣品臺上振動翻滾，通過濺射在粉末表面進(jìn)行包覆形成核殼結(jié)構(gòu)。直流磁控濺射適合粉體表面包覆金屬材料.射頻磁控濺射適合材料表面包覆非金屬材料或碳。(更新日期2019.1.10）

產(chǎn)品型號	小型粉末PVD包覆系統(tǒng)VTC-16PW
安裝條件	本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：需要（可選配我公司冷水機(jī)）。 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥） 4、工作臺：尺寸600mm×600mm×700mm，,承重50kg以上 5、通風(fēng)裝置：需要
產(chǎn)品特點(diǎn)	1、可對粉體材料進(jìn)行表面包覆：采用磁控濺射，濺射時粉體材料在振動樣品臺上翻滾，達(dá)到粉體表面均勻包覆 2、設(shè)備小巧可在手套箱內(nèi)使用，可處理樣敏感性材料
技術(shù)參數(shù)	1、輸入電壓：220 VAC 50/60Hz 2、電源輸出:1600 VDC 250 W 3、電流：150 mA . 4、濺射頭：2英寸角度可調(diào)節(jié)濺射頭 5、振動樣品臺：樣品臺振動頻率可調(diào)節(jié)：6-33Hz 樣品臺直徑為50mm 建議樣品量: < 500 mg 建議顆粒尺寸: 1 ~ 1000um 石英腔體尺寸：165 mm OD. X 150 mm ID x 250 mm H 6、真空度： ①1.0E-2 Torr（采用機(jī)械泵），可濺射Au, Ag, Pt, Cu, Mo等靶 ② 1.0E-5 Torr（采用分子泵），可濺射Al, Mg, Li, Lr, Ti, Zn等易氧化金屬靶真空度可達(dá)到< 4.0E-6 Torr（分子泵系統(tǒng)抽時間12小時，腔體進(jìn)行烘烤） 7、CE認(rèn)證
產(chǎn)品規(guī)格	外形尺寸：長460×寬330×高810mm 凈重：20Kg
注意事項(xiàng)	警告： 1、濺射頭與高壓電源相連接，操作時必須佩帶防護(hù)手套 2、濺射前必須確保靶材，濺射頭，基片和樣品臺清潔，需要用砂紙和乙醇來清洗，Al或是Ni靶每次使用時都必須清洗和處理注意：粉末樣品必須干燥和分散