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深圳市中圖儀器股份有限公司
參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)SuperViewW1
品 牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地深圳市
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更新時(shí)間:2022-08-31 09:30:23瀏覽次數(shù):265次
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臺(tái)階測(cè)量準(zhǔn)確度 | 0.3% | 臺(tái)階測(cè)量重復(fù)性 | 0.08% 1σ |
---|---|---|---|
形貌重復(fù)性 | 0.1nm | 粗糙度RMS重復(fù)性 | 0.005nm |
在同等放大倍率下,中圖儀器W1光學(xué)輪廓儀的測(cè)量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。它的雙通道氣浮隔振系統(tǒng)設(shè)計(jì),既可以接入客戶現(xiàn)場(chǎng)的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣,在無(wú)外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作,可以有效隔絕地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動(dòng),同時(shí)內(nèi)部隔振系統(tǒng)能夠有效隔絕聲波振動(dòng),確保儀器在車間也能正常工作。
中圖儀器W1光學(xué)輪廓儀由照明光源系統(tǒng),光學(xué)成像系統(tǒng),垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構(gòu)成。是以白光干涉技術(shù)為原理,能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率,測(cè)試各類表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)的光學(xué)測(cè)量?jī)x器。
1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能;
2)測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能;
3)測(cè)量中提供自動(dòng)拼接測(cè)量、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能;
4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;
5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;
6)分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。
1、三維表面結(jié)構(gòu):粗糙度,波紋度,表面結(jié)構(gòu),缺陷分析,晶粒分析等;
2、二維圖像分析:距離,半徑,斜坡,格子圖,輪廓線等;
3、表界面測(cè)量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;
4、薄膜和厚膜的臺(tái)階高度測(cè)量;
5、劃痕形貌,摩擦磨損深度、寬度和體積定量測(cè)量;
6、微電子表面分析和MEMS表征。
在同等放大倍率下,中圖儀器W1光學(xué)輪廓儀的測(cè)量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。它的雙通道氣浮隔振系統(tǒng)設(shè)計(jì),既可以接入客戶現(xiàn)場(chǎng)的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣,在無(wú)外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作,可以有效隔絕地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動(dòng),同時(shí)內(nèi)部隔振系統(tǒng)能夠有效隔絕聲波振動(dòng),確保儀器在車間也能正常工作。
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