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上海量博實(shí)業(yè)有限公司
免費(fèi)會員美國Corning平面度測量系統(tǒng)FlatMaster 100
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訪問次數(shù)：199更新時間：2022-06-05 12:11:53
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產(chǎn)品簡介
產(chǎn)品介紹
Tropel FlatMaster 100
平面度測量儀 快速、準(zhǔn)確地測量經(jīng)粗磨、研磨、精磨、拋光和精加工的部件
平面度測量儀 快速、準(zhǔn)確地測量經(jīng)粗磨、研磨、精磨、拋光和精加工的部件
Flatmaster 100平面度儀提供了五種納米級的解析度和高達(dá)50納米的標(biāo)準(zhǔn)精度，能夠快速和準(zhǔn)確地對各種表面的平面度、線型、半徑和其他表面參數(shù)進(jìn)行精密測量。
| Tropel Flat master 100平面度儀技術(shù)特點(diǎn)及應(yīng)用領(lǐng)域： | ||
| ? 無接觸和無損傷測量 ? 適用多種類型材料： 半導(dǎo)體，金屬，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料 ? 適用多種類型晶片： 硅/藍(lán)寶石/碳化硅/砷化鎵/石英/鍺/鈮酸鋰 ? 適用多種類型表面： 研磨表面，拋光面、光滑面 |  |  |
| 可測量多種指標(biāo) | 完整的分析系統(tǒng) | ||
| ● 厚度 ● TTV ● SORI ● LTV ● LDOF ● 壓力 | ● 翹曲度 ● 彎曲度 ● 平坦度 ● 平面度 ● 線輪廓 ● 表面輪廓 | ● 三維 ● 拓?fù)?br />● 合格率 ● 分布 ● 二維環(huán)形 ● 半徑切面 | ● 平面 ● 球面 ● 錐形匹配 ● 局部平面度分析 ● 斜度 |
| 技術(shù)參數(shù)： | |
| ? 精度：50nm （2.0μ″） ? 重復(fù)性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma） ? 分辨率：5nm （0.2μ″） ? 可測量工件尺寸：25mm-100mm（更小工件也可提供） ? 動態(tài)測量范圍：>100um ? 測量數(shù)據(jù)點(diǎn)：230,000 / measurement ? 測量時間：5秒 ? 電源： ～220V 50Hz |  |
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