質(zhì)量流量控制系統(tǒng)DGS03主要用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密控制和測(cè)量。它們?cè)诎雽?dǎo)體和集成電路工藝、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括：微電子工藝設(shè)備、，如擴(kuò)散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、氣體取樣、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其它分析儀器。系統(tǒng)默認(rèn)配置為： MAC地址：32；RS485通信波特率：19200； 控制方式：數(shù)字。
∮主要技術(shù)參數(shù)：
流量規(guī)格（N2） | （0~5，10，20，30，50，100，200，300，500）SCCM （0~1，2，3，5，10，20，30）SLM |
準(zhǔn)確度 | ±1.0% S.P . （≥35% F.S.） ±0.35% F.S. （＜35% F.S.） |
線性 | ±0. 5% F.S. |
重復(fù)精度 | ±0.2% F.S. |
工作壓差范圍（＜0.02MPa） | 0.05~0.35Mpa 流量規(guī)格≤10SLM 0.1~0.35Mpa 流量規(guī)格＞10SLM |
溫度系數(shù) | 零點(diǎn)：≤±0.05FS/℃; 調(diào)節(jié)時(shí):≤±0.1FS/℃ |
耐壓 | 3MPa |
響應(yīng)時(shí)間 | ≤2sec |
漏率 | 1×10-10pa.m3/sec He |
密封材料 | 氟橡膠; 氯丁橡膠 |
工作環(huán)境溫度 | （5~45） ℃ |
智能制造網(wǎng)