精密在線輪廓檢測系統(tǒng),輪廓檢測系統(tǒng),在線檢測系統(tǒng)
激光位移傳感器 (2D)
輪廓/截面
瞬間測量/判定截面
可在特定的范圍內(nèi)實(shí)時(shí)測量截面面積。這樣便可以對輪廓和截面進(jìn)行質(zhì)量控制。
角度/交點(diǎn)/位置
自動(dòng)計(jì)算角度/交點(diǎn)
可根據(jù)表面輪廓實(shí)時(shí)測量/判定角度、交點(diǎn)及邊緣位置。
寬度/間隙
透過特定測量模式測量寬度/間隙
根據(jù)表面輪廓測量寬度及間隙。在進(jìn)行高精度測量的同時(shí)不受目標(biāo)物顏色的影響。
高度/變形
在特定的范圍內(nèi)多點(diǎn)測量高度
可測量平均高度、zui大高度及zui小高度。透過計(jì)算特定點(diǎn)的高度可測出變形或膨脹度。
分辨率:zui高0.05um
測量速度:zui高9400Hz
探頭線性度:zui高0.5um
掃描速率:zui高1120m/min