產(chǎn)品簡(jiǎn)介
龍門(mén)雙驅(qū) 產(chǎn)品用途:滿(mǎn)足高速高精度產(chǎn)品的定制需求,適用于激光加工,CCD成像,晶圓檢測(cè)等。產(chǎn)品特性:1.X,Y,Z工作臺(tái),Z軸布置于平臺(tái)大理石橫梁,2.龍門(mén)結(jié)構(gòu),橫梁可隨Y軸運(yùn)動(dòng),3.XY微米級(jí)重復(fù)定位精度,4.速度1000mm/s,加速度1.0g5.單軸直線(xiàn)度可達(dá)±1.5um,運(yùn)動(dòng)平面度可達(dá)±2.5um
產(chǎn)品介紹
龍門(mén)雙驅(qū) 產(chǎn)品用途:滿(mǎn)足高速高精度產(chǎn)品的定制需求,適用于激光加工,CCD成像,晶圓檢測(cè)等。產(chǎn)品特性:1.X,Y,Z工作臺(tái),Z軸布置于平臺(tái)大理石橫梁,2.龍門(mén)結(jié)構(gòu),橫梁可隨Y軸運(yùn)動(dòng),3.XY微米級(jí)重復(fù)定位精度,4.速度1000mm/s,加速度1.0g5.單軸直線(xiàn)度可達(dá)±1.5um,運(yùn)動(dòng)平面度可達(dá)±2.5um
龍門(mén)雙驅(qū)
技術(shù)參數(shù) 外形尺寸 技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品類(lèi)型 | ZWLS-500-300 |
| X | Y |
行程 | 500mm | 300mm |
分辨率 | 0.1um |
定位精度(補(bǔ)償后) | ±2um |
重復(fù)定位精度 | ±1um |
直線(xiàn)度 | 3um |
平面度 | ±2.5um |
垂直度 | ±5um |
速度 | 1000mm/s | 1000mm/s |
加速度 | 1.0g |
負(fù)載 | 10kg |
A | 1544 |
B | 1380 |
C | 603 |
外形尺寸:
