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非接觸式高精度激光測振儀可以通過顯微光學系統(tǒng)實現(xiàn)對微小物體的振動測量,可以精確測量MEMS等微小結構元器件的振動和形貌,激光光斑達微米量級,并可通過顯微成像系統(tǒng)...
高精度激光測振儀可以通過顯微光學系統(tǒng)實現(xiàn)對微小物體的振動測量,可以精確測量MEMS等微小結構元器件的振動和形貌,激光光斑達微米量級,并可通過顯微成像系統(tǒng)實時觀察...
掃描式激光測振儀LV-SC400通過在單點激光測振儀前面加兩個掃描鏡,運動控制系統(tǒng)控制掃描鏡的偏轉角度,來實現(xiàn)X、Y方向上的掃描測振;配備攝像系統(tǒng),可實現(xiàn)人機互...
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