臺階儀 | 薄膜測厚儀 | 微細(xì)形狀測定機ET4000系列
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蘇州邦恩精密儀器有限公司
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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)- 產(chǎn)品型號
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訪問次數(shù)：350更新時間：2022-05-19 13:09:51
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產(chǎn)品介紹
臺階儀/膜厚儀ET4000系列產(chǎn)品參數(shù)
| 試片尺寸 | 210×210mm~300×400mm |
|---|---|
| 重現(xiàn)性 | 1σ 0.5nm以內(nèi) |
| 測定范圍 | Z:100um X:100～305mm (Y移動量:150~400mm) |
| 分解能 | Z:0.1nm X:0.1um |
| 測定力 | 0.5UN~500UN (0.05mg-50mg) |
臺階儀可以應(yīng)用在半導(dǎo)體，光伏/太陽能，光電子，化合物半導(dǎo)體，OLED，生物醫(yī)藥，PCB封裝等領(lǐng)域的薄膜厚度，臺階儀測量薄膜厚度,臺階高度，粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），劃痕深度，磨損深度，薄膜應(yīng)力（曲定量率半徑法）等定量測量方面。其高精度，高重復(fù)性，自動探索樣品表面
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