北京羲和陽光科技發(fā)展有限公司
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- 品牌
- 生產(chǎn)商 廠商性質(zhì)
- 北京市 所在地
訪問次數(shù):276更新時(shí)間:2020-07-15 15:47:55
■ 非接觸測(cè)量,避免對(duì)被測(cè)樣品造成損傷。
■ 采用高精密傳感器,保證測(cè)量數(shù)據(jù)的精準(zhǔn)性。
■ 采用高性能采集卡保證數(shù)據(jù)采集的準(zhǔn)確及穩(wěn)定性。
■ 采用高性能主機(jī)配以強(qiáng)大的控制軟件對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行精準(zhǔn)計(jì)算和分析。
二、技術(shù)指標(biāo):
?測(cè)量尺寸:400mm×500mm(可定制)
?探頭X/Y軸定位分辨率:±2µm
?探頭Z(垂直)軸定位分辨率:±0.2µm
- 系統(tǒng)特點(diǎn):
■ 非接觸測(cè)量,避免對(duì)被測(cè)樣品造成損傷。
■ 采用高精密傳感器,保證測(cè)量數(shù)據(jù)的精準(zhǔn)性。
■ 采用高性能采集卡保證數(shù)據(jù)采集的準(zhǔn)確及穩(wěn)定性。
■ 采用高性能主機(jī)配以強(qiáng)大的控制軟件對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行精準(zhǔn)計(jì)算和分析。
- 技術(shù)指標(biāo):
- 測(cè)量尺寸:400mm×500mm(可定制)
- 探頭X/Y軸定位分辨率:±2μm
- 探頭Z(垂直)軸定位分辨率:±0.2μm
- 被測(cè)基片厚度范圍:50μm~500μm
- 測(cè)量精度:0.5μm
- 測(cè)試分辨率:0.1μm
- zui大測(cè)試速度:1片/30S
- 設(shè)備外形:
約:900mm(寬)×800mm(深)×600mm(高)
- 輸入源:
電源:AC 220V 50Hz 功率: <500W
真空:-100KPa