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便攜式電阻率測試儀
產(chǎn)品型號：XH100
本儀器按照半導體材料電阻率的及國家標準測試方法有關規(guī)定設計，它主要由電器測量部份（主機）及四探針探頭組成。樣品測試電流由高精寬的恒流源提供，隨時可進行校準，以確保電阻率測量的準確度。對0.1～19.9Ω*cm標準樣片的測量誤差不超過±5%。

功能特點
XH100型硅料電阻測試儀是用來測量硅晶塊、晶片、碎片料、米粒料、頭尾料、堝底料、邊皮料等材料方塊電阻的小型儀器。是生產(chǎn)線上大批量選料的理想儀器，具有簡便的比較功能，操作方便。
技術參數(shù)

測量范圍
■ 可測量電阻率：0.1～19.9Ω*cm（可擴展）。
■ zui大電阻測量誤差（按JJG508-87進行）≤±5%
■ 適合測量各種厚度的硅片，可測晶片直徑（zui大）
■ 園形：Ф100mm ；方形：230×220mm

恒流源
■ 輸出電流：0.01～1mA連續(xù)可調，誤差≦±0.5%。
■ 恒流精度：各檔均優(yōu)于±0.1%

直流數(shù)字電壓表
■ 測量范圍：0.1～199.9mv 靈敏度：10μv
■ 準確度：0.2%（±2個字）

供電電源
■ AC： 220V ±10%（保護隔離） 50/60HZ
■ 功率2W

四探針探頭
■ 鎢鋼探針
■ 間距1±0.01mm
■ 針尖絕緣電阻≥100mΩ
■ 機械游移率≦1.0%
■ 探針壓力 12-16牛頓（總力）
使用環(huán)境
■ 溫度23±2℃， 相對濕度≤80%
■ 無較強的電場干擾 無強光直接照射

使用方法
■ 使用儀器前將電源線、測試筆聯(lián)接線與主機聯(lián)接好，電源線插頭插入～220V座插后，開啟背板上的電源開關，此時前面板上的數(shù)字表、發(fā)光二極管都會亮起來。探針頭壓在被測單晶上，右邊的表顯示從1、4探針流入單晶的測量電流，左邊的表顯示電阻率或2、3探針間的電位差。電流大小通過旋轉前面板右上方的電位器旋鈕加以調節(jié)。
■ 校準設備：厚度小于3.98mm的（本公司提供厚度小于3.98mm的標準電流修正系數(shù)表）取與要備測試硅材料厚度相同的硅材料標準樣塊校準電阻率測試儀，測試厚度大于3.98mm的硅材料可取厚度大于3.98mm的任一標準樣塊校準電阻率測試儀。
■ 測試: 用四探針接觸硅材料，以探針壓下三分之二為準，待儀器顯示數(shù)字穩(wěn)定即可.