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硅片表面線痕測(cè)試儀
產(chǎn)品型號(hào)：進(jìn)口
對(duì)硅片表面的線痕進(jìn)行輕松測(cè)量。該設(shè)備帶控制器的高精度，高性能，操作簡(jiǎn)單，顯示一目了然。

 

特點(diǎn)
■顯示一目了然，操作簡(jiǎn)單： 配備高可見(jiàn)度7.5 英寸TFT LCD 屏幕。彩色圖標(biāo)顯示、觸控式面板，顯示更清晰，操作簡(jiǎn)單。
■輕松定位： 使用控制器內(nèi)置的操縱桿，輕松、快速地定位。小孔內(nèi)側(cè)的測(cè)量，需要對(duì)微小測(cè)頭進(jìn)行微調(diào)。利用手動(dòng)手柄，實(shí)現(xiàn)輕松微調(diào)。
■輕松設(shè)置表測(cè)量條件： 利用配備的簡(jiǎn)單輸入功能，可按照ISO/JIS 標(biāo)準(zhǔn)的繪圖指令符號(hào)進(jìn)行輸入。以往非常麻煩的測(cè)量條件設(shè)置如今可輕松輸入，從菜單上直接選取表面線痕的繪圖指令符號(hào)即可。

技術(shù)參數(shù)
技術(shù)參數(shù): SJ-500
X 軸 （驅(qū)動(dòng)部）
　 測(cè)量范圍: 50mm
　 分辨率: 0.05μm
　 檢測(cè)方法: 線性編碼器
　 驅(qū)動(dòng)速度: 0 - 20mm/s
　 測(cè)量速度: 0.02 - 5mm/s
　 移動(dòng)方向: 向后
　 直線度: 0.2μm / 50mm
　 定位: ±1.5° （傾角、有DAT 功能） 30mm （向上／向下）
檢測(cè)器
　 范圍／分辨率: 800μm / 0.01μm, 80μm / 0.001μm, 8μm / 0.0001μm
　 檢測(cè)方法: 無(wú)軌／有軌測(cè)量
　 測(cè)力: 4mN 或 0.75mN （低測(cè)力型）
　 測(cè)針針尖: 金剛石、90o / 5μmR （60o / 2μmR: 低測(cè)力型）
　 導(dǎo)頭曲率半徑: 40mm
　 檢測(cè)方法: 差動(dòng)電感式
控制器
　 顯示: 7.5" 帶背光的TFT 彩顯
　 打印機(jī): 內(nèi)置熱敏打印機(jī)
　 放大倍率: 水平: X10 至 X500,000、自動(dòng) 垂直: X0.5 至 X10,000、自動(dòng) 驅(qū)動(dòng)裝置的控制: 通過(guò)操縱桿手動(dòng)手柄的操作

技術(shù)參數(shù): SV-2100
X 軸 （驅(qū)動(dòng)部）
　 測(cè)量范圍: 100mm
　 分辨率: 0.05μm
　 檢測(cè)方法: 線性編碼器
　 驅(qū)動(dòng)速度: 0 - 40mm/s
　 測(cè)量速度: 0.02 - 5mm/s
　 移動(dòng)方向: 向后
　 直線度: 0.15μm / 100mm Z2 軸 （ 立柱）
　 類型: 手動(dòng)操作或電驅(qū)動(dòng)
　 垂直移動(dòng): 350mm 或 550mm*
　 分辨率*: 1μm
　 檢測(cè)方法*: 旋轉(zhuǎn)編碼器
　 驅(qū)動(dòng)速度*: 0 - 20mm/s * 僅適于電驅(qū)動(dòng)型
檢測(cè)器
　 范圍／分辨率: 800μm / 0.01μm, 80μm / 0.001μm, 8μm / 0.0001μm
　 檢測(cè)方法: 無(wú)軌／有軌測(cè)量
　 測(cè)力: 4mN 或 0.75mN （低測(cè)力型）
　 測(cè)針針尖: 金剛石、90o / 5μmR （60o / 2μmR: 低測(cè)力型）
　 導(dǎo)頭曲率半徑: 40mm
　 檢測(cè)方法: 差動(dòng)電感式
控制器
　 顯示: 7.5" 帶背光的TFT 彩顯
　 打印機(jī): 內(nèi)置熱敏打印機(jī)
　 放大倍率: 水平: X10 至 X500,000、自動(dòng) 垂直: X0.5 至 X10,000、自動(dòng)
　 驅(qū)動(dòng)裝置的控制: 通過(guò)操縱桿手動(dòng)手柄的操作

評(píng)估能力
評(píng)估輪廓
　 P （主輪廓）, R （表面輪廓）, WC, WCA, WE, WEA, 包絡(luò) 殘余線、波形 motif
評(píng)估參數(shù)
　 Ra, Rc, Ry, Rz, Rq, Rt, Rmax, Rp, Rv, R3z, Sm, S, Pc, mr（c）, dc, mr,
　 tp, Htp, Lo, Ir, Ppi, HSC, Da, Dq, Ku, Sk, Rpk, Rvk, Rk, Mr1, Mr2,
　 A1, A2, Vo, la, lq 線痕motif 參數(shù): R, AR, Rx 波形motif 參數(shù): W, AW, , Wte
分析圖表
　 ADC, BAC, 功率譜圖
數(shù)顯濾波器
　 2CR-75%, PC-75%、高斯濾波器、魯棒樣條
截止波長(zhǎng)
　 ls: 0.25μm, 0.8μm, 2.5μm, 8μm, 25μm, 250μm、無(wú)濾波器
　 lc*: 0.025mm, 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm, 25mm
　 lf: 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm, 25mm、無(wú)濾波器采樣長(zhǎng)度 （L）*
　 0.025mm, 0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm, 25mm, 80mm （僅適于SV-2100）
數(shù)據(jù)補(bǔ)償功能
　 拋物線補(bǔ)償、雙曲線補(bǔ)償、橢圓補(bǔ)償、R 平面 （曲面）
　 補(bǔ)償、錐面補(bǔ)償、傾斜補(bǔ)償
　 *在 0.02mm 至50mm 的范圍內(nèi)可任意長(zhǎng)度。

相關(guān)圖片