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      行業(yè)產(chǎn)品
      
							
						
      
						
        
							
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      無(wú)錫君曉機(jī)電設(shè)備有限公司
                                
                
                
      

							
      
                        			
      
		
      
	
      
	
	
      
		
      
            
      
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      廢氣處理設(shè)備-燃燒水洗系統(tǒng)
      
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      參  考  價(jià)面議  
      
					                    
      具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      
				
      
				
				
      
						
      
							
      產(chǎn)品型號(hào)CT-BW
      
							
      品       牌
      
		                    
      廠商性質(zhì)其他
      
		                    							
      所  在  地無(wú)錫市
      
						
      
                        
                    
      
					 							        										
      聯(lián)系方式：沈撫直查看聯(lián)系方式
      
									                                                 
      
						
      
							
      
								更新時(shí)間：2019-10-23 19:27:38瀏覽次數(shù)：341次
							
      
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      經(jīng)營(yíng)模式：其他
      
						
      商鋪產(chǎn)品：9條
      
						
      所在地區(qū)：江蘇無(wú)錫市
      
						
      聯(lián)系人：沈撫直 （銷售經(jīng)理）
      												
					
      
				
      
			
      			
      
                                
      
                    產(chǎn)品簡(jiǎn)介
                
      
				
      
                      
      
                                                                      
      
					
      針對(duì)廢氣處理的燃燒-水洗系統(tǒng) 
       
      概述 
       
      CT-BW使用點(diǎn)對(duì)點(diǎn)廢氣減排系統(tǒng)是應(yīng)用于光伏、半導(dǎo)體以及其
      它相關(guān)產(chǎn)業(yè)的化學(xué)氣相沉積和刻蝕等領(lǐng)域的一種高性能系統(tǒng)。
      隨著新工藝引進(jìn)了具有高腐蝕性氣體且逐漸增加氣體負(fù)荷量，
      廢氣減排技術(shù)需要進(jìn)一步改善。 
       
      CT-BW不僅滿足此要求，且符合安全標(biāo)準(zhǔn)。CT-BW具有許
      多優(yōu)點(diǎn)，例如，針對(duì)化學(xué)氣相沉積、蝕刻制程的廢氣（尤其是
      全氟化合物、各類固體、氣
      
				
      
				
      
                    詳細(xì)介紹
                
      
			    
      
			        
      
			            
      針對(duì)廢氣處理設(shè)備的燃燒-水洗系統(tǒng) 
       
      概述 
       
      CT-BW使用點(diǎn)對(duì)點(diǎn)廢氣減排系統(tǒng)是應(yīng)用于光伏、半導(dǎo)體以及其
      它相關(guān)產(chǎn)業(yè)的化學(xué)氣相沉積和刻蝕等領(lǐng)域的一種高性能系統(tǒng)。
      隨著新工藝引進(jìn)了具有高腐蝕性氣體且逐漸增加氣體負(fù)荷量，
      廢氣減排技術(shù)需要進(jìn)一步改善。 

       
      CT-BW不僅滿足此要求，且符合安全標(biāo)準(zhǔn)。CT-BW具有許
      多優(yōu)點(diǎn)，例如，針對(duì)化學(xué)氣相沉積、蝕刻制程的廢氣（尤其是
      全氟化合物、各類固體、氣態(tài)反應(yīng)的副產(chǎn)物）有著高處理效率
      （DRE）。 
       
      該系統(tǒng)的設(shè)計(jì)是極可靠的，即使在嚴(yán)苛的制程條件下仍具有資
      源節(jié)約性能。 
       
      獨(dú)立的功能部件（例如，燃燒頭、燃燒腔、水洗腔、廢氣進(jìn)
      口、冷卻系統(tǒng)）可以根據(jù)各種應(yīng)用而靈活地安裝。 
       
      我們延長(zhǎng)維護(hù)周期和zui大化正常運(yùn)行時(shí)間的秘訣是─客戶量身
      定制的廢氣減排系統(tǒng)。
      工藝技術(shù) 
       
      ? 每個(gè)模塊的廢氣總流量可達(dá)1,500slm 
      ? 可高效處理沉積和蝕刻氣體 
      ? 經(jīng)改良的減塵處理 
      ? 監(jiān)控緊急旁路稀釋 
      ? 更大的反應(yīng)腔容量，以提供更佳的處理效率

      CT-BW廢氣處理設(shè)備-水洗燃燒系統(tǒng)流程示意圖：

      特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì) 
       
      ? 高達(dá)99.99%的處理效率（DRE） 
      ? 模塊化 
       - 一個(gè)電器柜可連接高達(dá)四組獨(dú)立模塊 
       - 模塊間彼此隔離 
       - 每個(gè)模塊都有其獨(dú)立的安全鏈（傳感器，探針等） 
      ? 每個(gè)介質(zhì)只需要一個(gè)Hook-up連接點(diǎn)，可多達(dá)4個(gè)模塊 
      ? 客戶量身定制的備用配置 
      ? 低運(yùn)行成本，根據(jù)制程來(lái)控制燃燒頭性能 
      ? 改良的抗腐蝕反應(yīng)腔蓋 
      ? 上至下燃燒器設(shè)計(jì)，降低燃燒頭噴嘴的阻塞問(wèn)題 
      ? 反應(yīng)腔中的水幕，避免腐蝕和阻塞問(wèn)題 
      ? 由于經(jīng)優(yōu)化的內(nèi)部設(shè)計(jì)，可使維護(hù)簡(jiǎn)易且快速 
      ? 自動(dòng)化的廢氣進(jìn)口清潔裝置，增加MTBPM 
      ? 圖形化的使用介面并附解說(shuō)文字，使故障排除更為容易 
      ? Ethernet或RS485的監(jiān)控接口 
      ? 量身定制的廢氣減排設(shè)置，以滿足各種工藝需求 
      ? 燃料氣的選擇性高，如：液化天然氣、城市燃?xì)?、煤氣、氫氣、丙烷、丁烷?nbsp;
      ? 符合以下的安全標(biāo)準(zhǔn)與規(guī)范： 
       - SEMI S2-0706 
       - SEMI S8-0308 
       - SEMI S14-0704 
       - NFPA79: 2007 
       - EN / ISO 14121-1: 2007 
       - EN / ISO 13849-1: 2008 
       - EN60204-1: 2006 
       - MD2006/EC/42-Annex I: 2006 
      ? 德國(guó)制造 
      尺寸：

      技術(shù)數(shù)據(jù)：


      
			        
      
			    
      
                                                				
      
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