*真空清掃系統(tǒng)電子半導(dǎo)體車間

*真空清掃系統(tǒng)的工作原理

集塵系統(tǒng)運行時，粉塵有效地被控制進入到真空管網(wǎng)內(nèi)部，在真空負壓的作用下，被吸進的粉塵隨氣流沿著負壓管路被抽入吸塵主機內(nèi)部，首先被離心分離裝置分離落入機器下方的垃圾桶內(nèi)，只有少量密度極*塵隨氣流繼續(xù)向上運動，在過濾室被過濾器分離，清潔的空氣由真空吸塵機排風(fēng)出口經(jīng)消音裝置排入空氣中。過濾器上的粉塵是通過機器上的自動脈沖反吹裝置定時反吹交替工作來完成的。

*真空清掃系統(tǒng)電子半導(dǎo)體車間

*真空清掃系統(tǒng)理論計算

管網(wǎng)末端真空軟管內(nèi)徑取Φ50mm,按系統(tǒng)同時打開2個吸口進行計算。根據(jù)粉塵材料的比重及灰塵的尺寸，經(jīng)計算得知， 粉塵材料在管路內(nèi)部的zui低流速不小于v=20m/s。經(jīng)設(shè)計計算得知，系統(tǒng)2個吸口同時工作時所需要的zui小設(shè)備風(fēng)量應(yīng)為Q≥272m3/h，考慮偏離量總風(fēng)量不少于300m3/h.

根據(jù)*集塵管網(wǎng)系統(tǒng)設(shè)計原則和計算方法，集塵系統(tǒng)的zui大阻力為Pmax=2200mmH2O,

風(fēng)機入口負壓-22KPa時，風(fēng)機入口流量為380m3/h.

經(jīng)查設(shè)備性能曲線知，選擇我廠生產(chǎn)的SINOVAC  CVP系列型號CVP280的真空工業(yè)吸塵主機是比較經(jīng)濟合理的，其性能曲線符合系統(tǒng)實際工況的需要。

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