蘇州潔凈室凈化工程

凈化工程

1．潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。 

2.潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。 

3.相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級(jí)別高的房間。 

4.凈化在一定空間范圍內(nèi)，將空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除，并將室內(nèi)溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)的工程學(xué)科。

蘇州潔凈室凈化工程

潔凈室凈化工程設(shè)計(jì)首先要了解所設(shè)計(jì)的潔凈室凈化工程的用途、使用情況、生產(chǎn)工藝特點(diǎn)等、比如設(shè)計(jì)的是集成電路生產(chǎn)用潔凈室凈化工程．首先要弄清楚產(chǎn)品的特性——集成度、持形尺寸和生產(chǎn)工藝特點(diǎn)；對(duì)潔凈室凈化工程的要求——空氣潔凈度等級(jí)、溫濕度及其控制范圍、防微振、防靜電和高純物質(zhì)的供應(yīng)要求等；其次要充分了解業(yè)主擬采用的生產(chǎn)工藝、工藝設(shè)備情況和對(duì)工藝布局的設(shè)想。在此之后，設(shè)計(jì)人員應(yīng)協(xié)同業(yè)主確定潔凈廠房各功能區(qū)的區(qū)劃，確定各類生產(chǎn)工序(房間)的空氣潔凈度等級(jí)和各種控制參數(shù)——溫度、相對(duì)濕度、壓差、微振動(dòng)、高純物質(zhì)的純度及雜質(zhì)含量；初步選擇潔凈室凈化工程的氣流流型并進(jìn)行凈化空調(diào)系統(tǒng)的初步估算及設(shè)計(jì)力案的對(duì)比、確定；進(jìn)行潔凈廠房的平面布置、空間布置，此時(shí)必須首先安排好產(chǎn)品生產(chǎn)區(qū)與個(gè)產(chǎn)輔助區(qū)t動(dòng)力公用設(shè)施區(qū)的合理布局，通常是順應(yīng)產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝硫程，在確保產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境要求的倩況下做到有利于產(chǎn)品生產(chǎn)的操作、管理，有利于節(jié)約能源、降低生產(chǎn)成本。

在進(jìn)行潔凈室凈化工程的平面布局時(shí)必須符合國(guó)家的現(xiàn)行規(guī)范中有關(guān)安全生產(chǎn)、消防、環(huán)保和職業(yè)衛(wèi)生方面的各種要求；在進(jìn)行潔凈室凈化工程平面布局時(shí)應(yīng)充分考慮人流、物流的安排．盡力做到短捷、流暢。在空間設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)分考慮產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程和潔凈室凈化工程內(nèi)各種管線、物流運(yùn)輸?shù)暮侠戆才?。在確定潔凈廠房的平面、空間布置后，對(duì)潔凈室凈化工程設(shè)計(jì)涉及的各個(gè)專業(yè)提出設(shè)計(jì)內(nèi)容、技術(shù)要求及設(shè)計(jì)中應(yīng)注意的相關(guān)問(wèn)題。

化工程的控制潔凈室中的溫濕度控制 潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。 具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來(lái)越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過(guò)25度。