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價(jià)格電議
HVA 長壽命嚴(yán)厲過程真空閘閥 71000 系列

上海伯東美國 HVA 長壽命嚴(yán)厲過程真空閘閥 71000 系列是專為苛刻的真空環(huán)境而設(shè)計(jì). 真空閘閥 71000 系列由堅(jiān)固的不繡鋼剛坯在 1100°C, 1x10^-6 mbar 條件下加工成形, 真空閘閥兩側(cè)密封的門上雙密封設(shè)計(jì), 閥門內(nèi)部幾乎沒有移動(dòng)部件, 大限度減少粒子的生成. 免維護(hù)設(shè)計(jì)(不繡鋼波紋管與工藝過程分離). 適用于 MOCVD, ALD, PECVD 等典型的嚴(yán)酷的應(yīng)用.
美國 HVA 真空閘閥真空插板閥,美國 HVA 真空閘閥真空插板閥
HVA 長壽命嚴(yán)厲過程真空閘閥 71000 系列特性:
易于系統(tǒng)集成, 幾乎滿足所有應(yīng)用
不繡鋼波紋管與工藝過程分離 - 免維護(hù)
真空閘閥堅(jiān)固的雙重密封設(shè)計(jì)和低粒子
使用壽命 > 250,000 cycles 啟閉次數(shù)
高壓和機(jī)械加工的不銹鋼閥體
真空閘閥口徑 DN 50-200 mm
手動(dòng)或氣動(dòng)控制
標(biāo)準(zhǔn)法蘭口 KF, ISO, CF, ANSI, JIS 或客戶定制
真空閘閥大烘烤溫度 250°C
全部美國設(shè)計(jì), 制造, 組裝, *

HVA 長壽命嚴(yán)厲過程真空閘閥 71000 系列參數(shù):

閥門材質(zhì):
- 閥門主體	304 不銹鋼
- 焊接波紋管軸封	AM - 350
閥門密封方式
- 高真空	氟橡膠
真空:
- 壓力范圍	高真空 1x10^-9mbar
- 漏率	< 2x10^-9 mbar l/S
- 差壓關(guān)閉	2 bar (任意位置)
- 開啟前大壓力	≤ 1 bar
烘烤溫度（不含電磁閥）:
- 佛橡膠密封	150 °c, 可選配置大 250 °c
- 驅(qū)動(dòng)方式	手動(dòng) 60 °c, 氣動(dòng) 60 °c
- 氣體	80 psig (5.5 bar)
- 電磁	4.0 Watts
- 供電	120 VAC 50 /60 Hz
- 可選電壓	24, 200, 240 VAC 50/60 Hz 或 12, 24 VDC
- 位置指示器,大	115 VAC 或 28 VDC, 20 mA
使用壽命: > 250,000 啟閉次數(shù) (具體視實(shí)際使用情況決定)
公稱通徑: DN 50 - 200 mm