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目前我國(guó)電子工業(yè)部把電子級(jí)水質(zhì)技術(shù)分為五個(gè)行業(yè)等級(jí)，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區(qū)分不同水質(zhì)。

設(shè)備組成：

通常由多介質(zhì)過(guò)濾器，活性碳過(guò)濾器，鈉離子軟化器、精密過(guò)濾器等構(gòu)成預(yù)處理系統(tǒng)、RO反滲透主機(jī)系統(tǒng)、離子交換混床(EDI電除鹽系統(tǒng))系統(tǒng)等構(gòu)成主要設(shè)備系統(tǒng)。原水箱、中間水箱、RO純水水箱、超純水水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng)、高低壓水泵均設(shè)有高低壓壓力保護(hù)裝置、在線水質(zhì)檢測(cè)控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器，真正做到了無(wú)人值守，同時(shí)在工藝選材上采用*和客戶要求相統(tǒng)一的方法，使該設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較，具有更高的性價(jià)比和設(shè)備可靠性。

應(yīng)用范圍：

半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水;

超純材料和超純化學(xué)試劑勾兌用超純水;

實(shí)驗(yàn)室和中試車(chē)間用超純水;

汽車(chē)、家電表面拋光處理;

光電子產(chǎn)品;

其他高科技精微產(chǎn)品。 

大規(guī)模集成電路元器件的生產(chǎn)用水，一般電阻率均大于18MΩ·CM。

水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)：

按國(guó)家有關(guān)用水標(biāo)準(zhǔn)(GB/T11446.1-1997)執(zhí)行。

電子元件廠，在焊接和組裝過(guò)程中的沖洗用水。依據(jù)電子元件生產(chǎn)工藝不同，其用水標(biāo)準(zhǔn)中(即GB/T11446.1-1997)有可為四級(jí)(一級(jí)zui高電導(dǎo)率18MO·CM以上，二級(jí)電阻率不低于15MΩ·CM，3級(jí)電阻率12MΩ·CM, 4級(jí)為0.5MΩ·CM)。