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詳細(xì)摘要： NOVA采用單模微技術(shù)，微波從波源出發(fā)，經(jīng)過波導(dǎo)傳導(dǎo)，以單一模式進(jìn)入反應(yīng)腔，其傳導(dǎo)方向固定不變，可以在微波諧振腔內(nèi)形成一個高密度，功率和能量均勻的穩(wěn)定微波場，從...