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      行業(yè)產(chǎn)品
      
							
						
      
						
        
							
      • 行業(yè)產(chǎn)品
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      北京正通遠(yuǎn)恒科技有限公司
                                
                
                
      

							
      
                        			
      
		
      
	
      
	
	
      
		
      
            
			
      
				
      
					
      脈沖激光沉積系統(tǒng)
      
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      參  考  價(jià)面議  
      
					                    
      具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      
				
      
				
				
      
						
      
							
      產(chǎn)品型號(hào)Pioneer  120 PLD System
      
							
      品       牌其他品牌
      
		                    
      廠商性質(zhì)代理商
      
		                    							
      所  在  地北京市
      
						
      
                        
                    
      
					 							        										
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								更新時(shí)間：2024-05-07 15:04:43瀏覽次數(shù)：506次
							
      
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                    產(chǎn)品簡(jiǎn)介
                
      
				
      
                      
      
                                                                                
      
                                                            產(chǎn)地
                                美國(guó)
                                                                                                         
                             
                            
      
                                              
      
					
      Pioneer 120 PLD System是基礎(chǔ)型獨(dú)立PLD系統(tǒng)，用于制備高質(zhì)量的外延薄膜、多層異質(zhì)結(jié)、超晶格等。Pioneer 120 Advanced系統(tǒng)使用導(dǎo)電加熱階段用于襯底加熱， 其他模型使用輻射加熱階段。
      
				
      
				
      
                    詳細(xì)介紹
                
      
			    
      
			        
      
			            
      產(chǎn)品簡(jiǎn)介
      Pioneer120 PLD System是基礎(chǔ)型獨(dú)立PLD系統(tǒng)，用于制備高質(zhì)量的外延薄膜、多層異質(zhì)結(jié)、超晶格等。該P(yáng)LD系統(tǒng)與Pioneer 120 Advanced系統(tǒng)和Pioneer 180 PLD系統(tǒng)的主要區(qū)別是襯底加熱階段。Pioneer 120 Advanced系統(tǒng)使用導(dǎo)電加熱階段用于襯底加熱， 其他模型使用輻射加熱階段。為了達(dá)到950°c的額定高溫，基板必須與加熱板緊密接觸，用銀漿提供加熱板和基板之間的緊密接觸(當(dāng)需要這些高溫時(shí))。在不需要銀漿的情況下，還提供襯底夾來(lái)固定襯底。在這些情況下, highest 襯底溫度可能低于額定950°c。加熱器是氧兼容的，能達(dá)到1大氣(760托)的氧, 這個(gè)特性有助于制備外延氧化薄膜：可能需要在氧氣環(huán)境后沉積和氧氣壓力接近1 atmosphere后退火冷卻。Pioneer 120 PLD系統(tǒng)包括一個(gè)自動(dòng)多目標(biāo)轉(zhuǎn)，具有目標(biāo)旋轉(zhuǎn)、目標(biāo)光柵和軟件控制的多層和超晶格沉積所需的目標(biāo)選擇。閉環(huán)壓力控制提供了使用質(zhì)量流量控制器的精確過(guò)程壓力控制。干式泵是由機(jī)械隔膜泵或渦旋泵支持的渦輪分子泵組合而成。該系統(tǒng)軟件(Windows 7, LabView 2013)控制基材加熱器，目標(biāo)轉(zhuǎn)，過(guò)程壓力，系統(tǒng)泵和激光觸發(fā)。

      產(chǎn)品特點(diǎn)
      獨(dú)立的交鑰匙PLD系統(tǒng)。
      外延薄膜、多層異質(zhì)結(jié)構(gòu)和超晶格的沉積。
      納米級(jí)薄膜的沉積。
      外延氧化膜沉積的可編程氧兼容加熱器。
      自動(dòng)多目標(biāo)旋轉(zhuǎn)多層沉積。
      全干式真空泵組。
      通過(guò)系統(tǒng)軟件進(jìn)行閉環(huán)壓力控制。

      技術(shù)指標(biāo)
      1、沉積室
      8"CF泵口。8"CF襯底加熱器端口。8“CF的目標(biāo)
      2、旋轉(zhuǎn)端口
      可編程導(dǎo)電襯底加熱器
      加熱器最\高溫度:950℃。
      最\大加熱器尺寸:直徑2英寸(其他尺寸為定制)。
      3、抽真空包組
      全干真空泵。渦輪分子泵支持隔膜或渦旋泵。
      4、PLD系統(tǒng)軟件
      Windows 7, LabVIEW 2013
      控制襯底加熱階段。
      控制目標(biāo)旋轉(zhuǎn)階段。
      5、PLD光學(xué)組件(KrF準(zhǔn)\分\子\激\光\器)
      用于248nm的45°激光鏡。
      248nm平面凸透鏡。
      焦距約為50厘米。





















































































































      
			        
      
			    
      
                			    
                                                				
      
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