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Pura Plus在線微量濕度異動變送器Pura Plus在線微量濕度異動變送器
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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)- Pura Plus在線微量濕度異動變送器 產(chǎn)品型號
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訪問次數(shù)：184更新時間：2022-05-02 11:05:25
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產(chǎn)品介紹
Pura Plus在線微量濕度異動變送器介紹
新型的 Pura Plus 是密析爾儀表針對晶圓工業(yè)對于設(shè)備尺寸和指標(biāo)的需求變化而特殊設(shè)計(jì)的。Pura Plus 是一款在線微量濕度異動變送器，多路安裝在半導(dǎo)體工廠內(nèi)通向生產(chǎn)線的氣體供應(yīng)最末端，用來監(jiān)測超純惰性氣體的應(yīng)用。工廠內(nèi)氣體系統(tǒng)分布復(fù)雜，涉及到很多分支、節(jié)點(diǎn)和使用點(diǎn)。因此在常規(guī)的濕度監(jiān)測點(diǎn)后，會由于微量的泄漏、低效的系統(tǒng)設(shè)計(jì)、元件故障或過程出錯等等原因?qū)е聺駳鉂B入，影響下游使用。而安裝在分布系統(tǒng)中的 Pura Plus 能夠提供快速的響應(yīng)指示，在 20 ppb 濕氣級別下
1 ppb 的異動的響應(yīng)時間小于1 分鐘。
Pura Plus在線微量濕度異動變送器技術(shù)指標(biāo)
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