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Aerotech 納米級(jí)定位平臺(tái)-ANT系列
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訪問次數(shù)：602更新時(shí)間：2019-07-20 18:07:32
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產(chǎn)品簡介
優(yōu)點(diǎn)：
非接觸式，無頓轉(zhuǎn)，無摩擦，直接驅(qū)動(dòng)，無背隙與磁滯，大行程
產(chǎn)品介紹
Aerotech 納米級(jí)定位平臺(tái)-ANT系列
一、ANT95-L系列納米級(jí)精密定位平臺(tái)
優(yōu)點(diǎn)：
非接觸式，無頓轉(zhuǎn)，無摩擦，直接驅(qū)動(dòng)，無背隙與磁滯，大行程
1：高分辨率1nm
2：重復(fù)定位精度±25nm
3：定位精度 ±250nm
4：行程25-50mm
交叉滾柱軸承設(shè)計(jì)
可以提供X,XY,XYZ等多種組合。可以實(shí)現(xiàn)1nm的zui小步進(jìn)。
二、ANT130-L系列納米級(jí)精密定位平臺(tái)
優(yōu)點(diǎn)：
非接觸式，無頓轉(zhuǎn)，無摩擦，直接驅(qū)動(dòng)，無背隙與磁滯，大行程35-160mm
1：高分辨率1nm
2：重復(fù)定位精度±25nm
3：定位精度 ±250nm
4：行程35-160mm
交叉滾柱軸承設(shè)計(jì)
可以提供X,XY,XYZ等多種組合。可以實(shí)現(xiàn)1nm的zui小步進(jìn)。
三、Z軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)
ANT95-L-Z 與ANT130-L-Z系列納米級(jí)精密定位平臺(tái)
優(yōu)點(diǎn)：
非接觸式，無頓轉(zhuǎn)，無摩擦，直接驅(qū)動(dòng)，無背隙與磁滯，大行程25-60mm
1：高分辨率2nm
2：重復(fù)定位精度±75nm
3：定位精度 ±300nm
4：行程25-60mm
交叉滾柱軸承設(shè)計(jì)
可以實(shí)現(xiàn)2nm的zui小步進(jìn)。
四、納米垂直升降臺(tái)
垂直升降，非接觸式，無頓轉(zhuǎn)，無摩擦，直接驅(qū)動(dòng)，無背隙與磁滯，行程3-5mm
1：高分辨率1nm
2：重復(fù)定位精度±75nm
3：定位精度 ±200nm
4：行程3-5mm
交叉滾柱軸承設(shè)計(jì)
可以實(shí)現(xiàn)1nm的zui小步進(jìn)。
更多Aerotech納米定位平臺(tái)請(qǐng)銷售工程師： 張巨鵬
Aerotech 納米級(jí)定位平臺(tái)-ANT系列
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