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廣州明柏儀器儀表有限公司
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產品簡介
產品介紹
MF5000微型熱式氣體質量流量計 MEMS微機電流量傳感器
產品簡介：
MF5000微型氣體質量流量計采用是（MEMS）流量傳感器芯片技術和計算機自適應技術歷經多年，開發(fā)出的智能化全電子式氣體質量流量儀表，主要技術性能處于水平，具有高靈敏度、高精度、大量程比等特點；針對工業(yè)環(huán)境，融合了多種抗干擾措施的電磁兼容設計；且具有多種信號輸出，能通過通訊接口實現網絡管理功能；本產品在性能、安裝和維護方面也具有其*的*性，可廣泛應用于石油、燃氣、化工、冶煉、能源等各個領域。
產品特點：
- 采用微機電系統芯片加工技術和大規(guī)模集成電路的生產技術及材料生長技術，傳感器的尺寸縮小到了微米量級，使該流量計的靈敏度大大提高。
- 在單個芯片上實現了多傳感器集成，使該流量計的量程比（范圍度）大大提高。
- 傳感器零點穩(wěn)定度較之傳統熱式質量流量計有*的改善。
- 結合二次儀表的微電腦智能技術，使流量計重復性好，實現了計量準確可靠。
- 技術進步帶來的結構簡化，使流量計較之傳統的機械式儀表，壓力損失大幅度減小，*地降低了能源消耗。
- 采用LCD顯示"瞬時流量"和"累計流量"，清晰直觀，讀數方便。
- 產品融合了電磁兼容設計技術，具有更高抗*力。
- 流量計帶有RS485通訊模塊，配合上位計算機網絡可實現集中管理。
- 可以選配4～20mA標準電流信號輸出。
型號 通徑（mm） 接口（inch） L H W d a b c
MF5003 3 1/8" 85 124 35 Φ3 25 16 50
MF5006 6 1/4" 95 127 35 Φ6 25 18 50
MF5008 8 3/8" 105 134 35 Φ8 25 22 50
MF5012 12 1/2" 116 137 40 Φ12 30 25 50
MF5019 19 3/4" 152 149 40 Φ19 30 40 70
技術參數：微型熱式氣體質量流量計 MEMS流量儀表明柏
精確度 ±(1.5+0.2FS)%
測量范圍 0.01~65m/sec
測量管徑 1~19 mm
使用環(huán)境 溫度: -20~65
顯 示 瞬時流量; 累計流量
輸出模式 4~20mA; RS485; RS232; 0~5V; 脈沖
校準條件 20oC; 101.325 kPa.
產品選型：微型熱式氣體質量流量計 MEMS流量儀表明柏
型號通徑(mm)接口(inch)工作壓力(MPa) 測量范圍
sccm SLPM SCFM NCMH
MF5003 3 1/8" 3.0 15-1500 0.15-15
MF5006 6 1/4" 3.0 0.5-50 0.02-2 0.035-3.5
MF5008 8 3/8" 3.0 1.2-120 0.045-4.5 0.075-7.5
MF5012 12 1/2" 3.0 3-300 0.1-10 0.17-17
MF5019 19 3/4" 3.0 8-800 0.28-28 0.48-48
