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簡介：適用于晶元搬運SEMISTAR-M系列升級版，業(yè)界的高性能！供應(yīng)EFEM模塊全套設(shè)備。300枚/小時的高速搬運。半導(dǎo)體晶片搬運用機(jī)器人

YASKAWA/安川SEMISTAR-MR124搬運用機(jī)器人質(zhì)量：66kg

　　特點

　　大動作范圍：EFEM模塊移動距離可達(dá)4套應(yīng)用設(shè)備，無需使用底架，極大地提高了搬運效率。

　　高速搬運：300枚/小時

　　適用：300mm-450mm晶片搬運

　　參數(shù)

　　機(jī)械臂

　　適用晶體尺寸：300mm(450m)*1

　　晶體把持方式：真空吸附夾具或邊緣夾具

　　標(biāo)準(zhǔn)邊緣效應(yīng)器長*2：對應(yīng)345mm＠300mm的晶體

　　驅(qū)動軸數(shù)：5軸

　　手臂類型：單臂

　　動作范圍

　　R軸伸縮*3：1215mm

　　θ軸回旋：330°

　　Z軸升降：480mm

　　B軸回轉(zhuǎn)：440°

　　最小回轉(zhuǎn)半徑*2：510mm

　　速度*2

　　伸縮：260°/s

　　回旋：330°/s

　　升降：550mm/s

　　B軸回轉(zhuǎn)：350°/s

　　線性：2000mm/s

　　重復(fù)定位精度*2：0.1mm(P-P)

　　質(zhì)量：66kg

　　位置調(diào)整器

　　適用晶體尺寸：300mm

　　晶體把持方式：真空吸附夾具

　　檢出對象：凹槽

　　晶體材質(zhì)：珪素*4

　　晶體邊緣檢出傳感器：LED + CCD線性傳感器

　　動作范圍：回旋：無限制

　　速度(加速/減速時間)：回旋：1000°/s(0.1s/0.1s)

　　LINEMENT精度：±0.03°

　　LINEMENT時間：1.7秒以下

　　質(zhì)量：5.8kg

　　設(shè)置環(huán)境

　　潔凈等級*5：ISO等級1

　　使用溫度·濕度：20——30℃,35——55%RH(不結(jié)露)

　　保管溫度·濕度：0——40℃,35——80%RH(不結(jié)露)

　　標(biāo)高：表高1000m以下

　　環(huán)境：無爆炸性，腐蝕性，可燃性氣體

　　MCBF：1500次循環(huán)以上

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