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XPR3 XP31-210010000 英?？?/strong>銷售維修中心介紹，INFICON的Pirani標準真空計PSG500和PSG502-S代表封裝在堅固耐用小型管殼內(nèi)的*的Pirani技術(shù)溫度補償提供快速與穩(wěn)定的真空測量并消除了對大氣壓強反應(yīng)慢的問題。堅固耐用的不銹鋼傳感單元更適用于半導(dǎo)體系統(tǒng)，以及常規(guī)用途如前級真空管道中。

特點

占空間小

任何方位安裝

不銹鋼測量單元的金屬密封饋入件更佳化的溫度補償易于集成的對數(shù)訊號輸出至10巴壓力的高過壓能力，用螺紋連接件烘烤型在法蘭處可達到250°C易于更換的傳感單元應(yīng)用控制高真空電離真空計前級真空壓強監(jiān)測真空系統(tǒng)中的安全電路在中真空和粗真空范圍內(nèi)的一般真空測量與控制。

如何選擇INFICON真空計

一，皮拉尼真空計

1.皮拉尼真空計原理

加熱電阻絲，使之升溫至需要的工作溫度

由于氣體粒子與電阻絲碰撞離開時帶走了能量，電阻絲的溫度會發(fā)生變化

熱絲的能量損失與熱絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關(guān)系。

2.衍生出兩種類型的皮拉尼規(guī)

1，穩(wěn)定溫度，測量施加的電壓變化等效測量真空度（INFICONPSG500）2，穩(wěn)定電壓，測量溫度變化等效測量真空度（熱偶規(guī)）

3.氣體的熱傳導(dǎo)，與下列提條件有關(guān)：

1，氣體類型2，壓力大小

4.皮拉尼真空計測量范圍與精度

測量范圍（空氣，氧氣，一氧化碳，氮氣）：5x10-4至1000mbar

精度（氮氣）：1x10-3…100毫巴±15%

5x10-4…1x10-3

毫巴±50%100…1000毫巴±50%

5.皮拉尼真空計的優(yōu)特點

燈絲部分在不影響精度與速度的情況下，加以更大的保護，大大延長了燈絲的使用壽命

6.皮拉尼真空計具體型號

101-S計PCG400PCG410PCG550規(guī)信號

7.皮拉尼真空計應(yīng)用行業(yè)

光伏，鍍膜，等離子行業(yè)控制，如PEG100經(jīng)停產(chǎn)）與z1，與PSG500/PSG050基本相同，但因為具有通訊協(xié)zPSG050/051

zPSG100-SPSGzPSG500/500-SPSG502

z皮拉尼電容膜片復(fù)合真空1.有皮拉尼規(guī)與特制的陶瓷薄膜規(guī)合成在一起2.兩種原理的規(guī)管全過程都工作

3.100mbar—1000mbar使用薄膜4.1mbar–100mbar兩規(guī)信號同時采用5.5x10-4mbar–1mbar采用皮拉尼信號6.輸出的真空度信號（電壓）連續(xù)，無跳躍z各種高真空泵的前級壓力測量，如z各種中低真空測量，如照明，冶金

z真空連鎖控制，高真空計的點火開關(guān)zPSG050可*替代TR211，PSG051可*替代TR216z

PCG400PCG410（現(xiàn)在已升級為PCG550，PCG400/PCG410已PSG500基本相同，但彌補了皮拉尼規(guī)大氣測量段精度不足的弱點，而且不受氣體類型的影響，在真空爐，單晶爐，多晶爐，藍寶石爐上廣泛應(yīng)用

PSG100PSG10議功能，在大系統(tǒng)中應(yīng)用廣泛。

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