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直線電機平臺選型：
LMA38-10-1□□□-A
反饋系統(tǒng)
G01：光柵反饋，分辨率0.1μm
G05：光柵反饋，分辨率0.5μm

平臺外形及安裝尺寸

平臺采用敞開式結(jié)構(gòu)，方便拆裝維護
內(nèi)置光柵或磁柵反饋系統(tǒng)，分辨率可選O.lµm, 0.5µm, lµm, 5µm 采用動磁式平板直線電機
重復(fù)精度達到土l µm
體積小，結(jié)構(gòu)簡單，適應(yīng)于輕負載高精度的場合
可任意架構(gòu)成XY十字平臺

電機參數(shù)
	單位	數(shù)值
連續(xù)推力（在溫度Tmax下）	N	0.6
峰值推力	N	3
電機常數(shù)	N√W	0.5
持續(xù)損耗功率	W	1.42
連續(xù)電流（在溫度Tmax下）	Arms	0.15
峰值電流（持續(xù)時間1S）	Arms	0.8
推力常數(shù)（25℃，±5%）	N/Arms	4
反電勢常數(shù)（25℃，±5%）	Vrms/m/s	1.3
電阻（25℃，±5%）p-p	Ω	30
電感（25℃，±5%）p-p	µm	0.25
線圈允許溫度	℃	120
極距（N-N）（360°電氣周期）	mm	24
電磁吸力	N	11

平臺參數(shù)
	單位	數(shù)值
負載	kg	1
有效行程	mm	10
分辨率	µm	0.1
速度（1）	mm/s	200
重復(fù)精度	µm	±0.5
平臺重量	kg	0.1
工作環(huán)境溫度、濕度	0-40℃、20-80%RH
注（1）：根據(jù)實際的負載質(zhì)量，會存在達不到速度的情況，具體速度可與工程師溝通