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直線電機(jī)平臺(tái)選型：
LMB100-□□□-□□□-A
有效行程反饋系統(tǒng)
200mm G05：光柵反饋，分辨率0.5μm
C10：光柵反饋，分辨率1μm

平臺(tái)外形及安裝尺寸

平臺(tái)采用敞開(kāi)式結(jié)構(gòu)，方便拆裝維護(hù)；
內(nèi)置光柵或磁柵反饋系統(tǒng)，分辨率可選0.1μm，0.5μm，1μm，5μm；
重復(fù)精度達(dá)到±1um；
體積小，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，適應(yīng)于輕負(fù)載，高精度的場(chǎng)合；
可任意架構(gòu)成XY十字平臺(tái)

電機(jī)型號(hào)及參數(shù)
性能參數(shù) 數(shù)值	單位	數(shù)值
連續(xù)推力（在溫度Tmax下）	N	15
峰值推力	N	150
負(fù)載	kg	5
有效行程	mm	200
分辨率	μm	0.1
速度（1）	mm/s	700
重復(fù)精度	μm	±0.6
平臺(tái)重量	kg	3.5
工作環(huán)境溫度、濕度	0-40℃、20-80%RH
注（1）：根據(jù)實(shí)際的負(fù)載質(zhì)量，會(huì)存在達(dá)不到速度的情況，具體速度可與工程師溝通

平臺(tái)性能參數(shù)
行程mm 參數(shù)	100	200	300	400	500	600	700	800	900	1000	1100	1200
k	6	10	14	14	18	18	22	26	26	30	34	34
N	1	2	3	3	4	4	5	6	6	7	8	8
平臺(tái)總長(zhǎng)L（mm）	320	420	520	620	720	820	920	1020	1120	1220	1320	1420