樣品臺尺寸

8英寸/12英寸

水平旋轉(zhuǎn)

可360°旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15°，精度0.1°，帶角度鎖死裝置

X-Y移動行程

8英寸×8英寸/12英寸×12英寸

X-Y移動精度

10μm/1μm

樣品固定

真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)

針座平臺

U型針座平臺，zuiduo可放置6個探針座

背電極測試

樣品臺電學(xué)獨立懸空，4mm插孔可接背電極

外形尺寸

840mm長*600mm寬*700mm高/850mm長*700mm寬*700mm高

設(shè)備重量

約20KG/30KG

顯微鏡類型

單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡

放大倍率

16X-200X/20X-4000X

移動行程

X-Y軸行程2英寸*2英寸/水平360度旋轉(zhuǎn)，Z軸行程50.8mm

光源

外置LED環(huán)形光源/同軸光源

CCD

200萬像素/500萬像素/1200萬像素

X-Y-Z移動行程

12mm*12mm*12mm

移動精度

10μm/2μm/0.7μm/0.5μm

吸附方式

磁力吸附，真空吸附

線纜

同軸線/三軸線

漏電精度

10pA/100fA/10fA

固定探針

彈簧固定/管狀固定

接頭類型

BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子

針尖直徑

0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm

針尖材質(zhì)

鎢鋼；鈹銅