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      上海煜志機電設(shè)備有限公司>>>>YHGS-1206131200℃低真空CVD系統(tǒng)

      1200℃低真空CVD系統(tǒng)

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      • 1200℃低真空CVD系統(tǒng)

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      具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      • 型號 YHGS-120613
      • 品牌
      • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
      • 所在地 上海市

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      更新時間:2022-08-19 17:16:18瀏覽次數(shù):497

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      產(chǎn)品簡介

      1200℃低真空CVD系統(tǒng)是由YGS-120610管式實驗電爐,混氣系統(tǒng),真空及壓力系統(tǒng)等組成。此系統(tǒng)燒結(jié)溫度可達1200℃,通過滑動爐體來實現(xiàn)快速的升降溫;配置不同的真空系統(tǒng)來達到理想的真空度;同時通過三路高精度質(zhì)量流量計控制不同氣體。是為石墨烯生長、研發(fā)的爐,也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實驗。

      詳細(xì)介紹

      主要技術(shù)參數(shù):

      爐體結(jié)構(gòu)

      整機采用SUS304不銹鋼材質(zhì),流線型外觀,斷熱式結(jié)構(gòu);

      *真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,保溫性能好

      爐子底部裝有一對滑軌,移動平穩(wěn)

      爐子可以手動從一端滑向另一端,實現(xiàn)快速的加熱和冷卻

      支撐兩端安裝油壓緩沖器

      爐蓋可開啟,可以實時觀察加熱的物料

      電源

      電壓:AC220V 50/60Hz;功率:4KW

      爐管

      高純石英管,高溫下化學(xué)穩(wěn)定性強,耐腐蝕,熱膨脹系數(shù)極小

      尺寸:Φ60*1200mm

      法蘭及支撐

      SUS304不銹鋼快速法蘭,通過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空

      一個卡箍就能完成法蘭的連接,放、取物料方便快捷

      可調(diào)節(jié)的法蘭支撐,平衡爐管的受力支撐

      包含進氣、出氣、真空抽口針閥,KF密封圈及卡箍組合

      加熱系統(tǒng)

      加熱元件采用優(yōu)質(zhì)合金絲0Cr27Al7Mo2,表面負(fù)荷高、經(jīng)久耐用

      加熱區(qū)長度:300mm

      恒溫區(qū)長度:150mm

      工作溫度:≤1150℃

      zui高溫度:1200℃

      升溫速率:10℃/min

      溫控系統(tǒng)

      溫度控制采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù),具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能

      30段升降溫程序

      測溫元件:N型熱電偶

      恒溫精度:±1℃

      混氣系統(tǒng)

      三路質(zhì)量流量計:數(shù)字顯示、氣體流量自動控制

      內(nèi)置不銹鋼混氣箱,每路氣體管路均配有逆止閥

      管路采用不銹鋼管,接口為Φ6卡套

      每路氣體進氣管路配有不銹鋼針閥

      通過控制面板上的旋鈕來調(diào)節(jié)氣體流量

      流量規(guī)格:0~1SLM

      流量精度:±1.5%

      真空系統(tǒng)

      采用雙極旋片真空泵,真空度可達10Pa 

      真空機械壓力表+電阻真空計顯示

      可選高真空系統(tǒng)及真空計,壓力控制系統(tǒng)等

      可選配件

      混氣系統(tǒng),中、高真空系統(tǒng),各種剛玉、石英坩堝,石英管,計算機控制軟件,無紙記錄儀,氧含量分析儀。

       

       

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