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      舟歐工業(yè)科技(上海)有限公司

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      AEG AM 56Z BA 4

      參  考  價:面議
      具體成交價以合同協(xié)議為準

      產(chǎn)品型號

      品牌

      廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

      所在地上海市

      更新時間:2018-10-25 11:42:50瀏覽次數(shù):362次

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      AEG

      ?作為擁有36年以上歷史的直流電源產(chǎn)品*企業(yè),AE 為成千上萬的客戶提供服務,通過下列優(yōu)勢、解決客戶復雜的工藝問題,為客戶創(chuàng)造價值:

      AEG

       

      • 作為擁有36年以上歷史的直流電源產(chǎn)品*企業(yè),AE 為成千上萬的客戶提供服務,通過下列優(yōu)勢、解決客戶復雜的工藝問題,為客戶創(chuàng)造價值:
      • 高產(chǎn)量
      • 靶材使用壽命的延長,利用率提高
      • 系統(tǒng)正常運行時間的延長
      • 應用支持人員
      • 支持能力

      • AE 的直流電源產(chǎn)品主要通過物理氣相沉積市場上主要使用的物理氣象沉積工藝——合金濺射以及與有反應氣體參與的反應濺射,AE電源廣泛應用于以下制造市場,包括:
         
      • 導體(銅、鋁、鉭、鈦以及更新的異類材料)
      • 板顯示器(薄膜晶體管、彩色濾光片、有機 LED)
      • 據(jù)存儲(光存儲、磁存儲以及磁光存儲相結(jié)合)
      • 陽能光伏電池(透明導電氧化物和硅沉積)
      • 筑玻璃
      • 進產(chǎn)品應用(用于光學裝置、工具涂層、塑料等的薄膜)
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      • Litmas® RPS 1501和3001遠程等離子源平臺
      • Litmas® RPS 是采用高傳導、低表面面積結(jié)構(gòu)的*整合遠程感應式等離子源和供電系統(tǒng)。非常適合為晶圓預清洗、光致抗蝕劑剝離和原子層沉積 (ALD) 等工藝提供反應氣體。此外,其大功率密度和高傳導性使其成為后處理廢氣治理的理想平臺。
      • Litmas RPS 可在不到3毫秒的時間內(nèi)提供高達3 kW 的穩(wěn)定射頻功率,從而能夠?qū)崿F(xiàn)90 nm 和300 nm制程的快速變化。
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      • 優(yōu)勢
      • 特點
      • 減少了對易損設備結(jié)構(gòu)的電荷損傷
      • 高反應活性物焊劑生成
      • 廣泛的工藝化學范圍
      • 快速匹配、穩(wěn)定的供電
      • 持有成本降低
      • 增強終端用戶工藝開發(fā)和輸出量
      • 整合式電源、匹配和等離子腔室
      • 獲得的 LitmasMatch™ 固態(tài)供電拓撲結(jié)構(gòu)
      • 即插即用的安裝
      • 極其廣泛的匹配范圍
      • 耐用的 SiO2 或 Al2O3 腔室材料
      • 尺寸小
      • 高的等離子功率密度
      • 源與源之間的變化極小
      • Litmas® RPS 前極管道 PFC 治理
      • Litmas® RPS 系統(tǒng)是一種前極管道治理解決方案,可減少半導體制程的變暖影響。這個高性能的線性感應式等離子源*整合了2 MHz 電源和匹配電路。其在 CVD、蝕刻和灰化應用中的阻抗使用范圍很廣。
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      • 優(yōu)勢
      • 特點
      • 以很高的破壞效率,有效地治理對環(huán)境有害的 PFC 氣體
      • 降低了總治理成本
      • 使前極管道的壓力影響降至低
      • 大的功率效率和工藝靈活性
      • 在各種化學反應中始終如一的性能和可靠性
      • 無縫整合,無工藝影響
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      • Xstream® 遠程等離子源
      • 高效 Xstream® 遠程等離子源平臺產(chǎn)生來自穩(wěn)定的原料氣體的中性活性種,用于表面改性、腔室清洗、薄膜蝕刻以及等離子輔助沉積。

        安裝在工藝腔室外的 Xstream 平臺整合了遠程等離子源、6 kW 或8 kW 的高效電源以及獲得的固態(tài)主動式匹配網(wǎng)絡。該網(wǎng)絡在一個腔室清洗源上擁有寬的商業(yè)化阻抗運行范圍。Xstream 遠程等離子源讓工藝工程師擁有的反應氣體工藝靈活性,從而提高了系統(tǒng)吞吐量,優(yōu)化了昂貴資源的使用。
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      • 優(yōu)點
      • 功能
      • 優(yōu)化昂貴資源的使用
      • 提供寬的商業(yè)化阻抗運行范圍
      • 可在各種化學反應下無縫運行,包括現(xiàn)有的 PFC/O2 就地腔室清洗方法
      • 提高工藝性能、靈活性和吞吐量
      • 能夠?qū)偷睾瓦h程 VCD 腔室清洗進行簡化改進
      • 利用之前獲得的 AE 主動式匹配網(wǎng)絡技術(shù)
      • 固態(tài)板上主動式匹配網(wǎng)絡
      • *整合式高效400 kHz 電源
      • 可選的虛擬前面板 (VFP) 直觀、即時、基于軟件的用戶界面
      • 耗水量小
      • 陽極硬化、細微粒、防腐金屬源腔室
      • 可測量對等離子的實際供電之高級監(jiān)控電路
      • 用于系統(tǒng)整合和監(jiān)控的讀回信號
      •  
      • AE Xstream 不允許在美國或歐洲銷售。 
      • AEG
      • Advanced Energy Industries GmbH
      • AEG
      • AEG Power Solutions
      • AEG
      • AEG Power Solutions
      • AEG
      • rosystec GmbH(AEG Power)
      • AEG
      • AM 56Z BA 4
      • AEG
      • AM80ZBA4 NO.30126844 0020
      • AEG
      • AM71Z BA4
      • AEG
      • 0.37kw 8 pole AM90SAA8 AEG/Lafert
      • AEG
      • Thyro-A 2A 400-495 HF RL1 - 2.000.002.359
      • AEG
      • Thyro-A 2A 400-280 HF 1
      • AEG
      • 1S 400-170 HRL1 2000000897
      • AEG
      • THYRO P -1P 400 495HF
      • AEG
      • Thyro-A 2A 400-100 H RL1
      • AEG
      • Thyro-A 1A 400-60 H RLP1
      • AEG
      • Thyro-A 1A 400-45 H RLP1
      • AEG
      • Thyro-A 1A 400-30 H RLP1
      • AEG
      • Thyro-A 2A 400-280 HF 1
      • AEG
      • 2.000.000.400
      • AEG
      • Thyro-A 2A 400-170 H RL1-2.000.001.077
      • AEG
      • Thyro-A 2A 400-495 HF RLP1-2.000.002.395
      • AEG
      • Profibus-Steckkarte Nr:2.000.000.393
      • AEG
      • Thyro-A 2A 400-170 H RLP1
      • AEG
      • 2000000841 Busmodule Profibus DP
      • AEG
      • Thyro-A 2A 400-130 H 1
      • AEG
      • Thyro-S 1S 400-130 H RL1 - 2.000.000.896
      • AEG
      • Modell:AM 80Z CA 4 (B5 flange mounted )1.1KW
      • AEG
      • Thyro-A 2A 400-60 H 1 - 2.000.001.014
      • AEG
      • Thyro-A 2A 400-170 H RL1-2.000.001.077
      • AEG
      • Thyro-A 2A 400-495 HF RL1 - 2.000.002.359
      • AEG
      • 1S400-100H RL1
      • AEG
      • 2.000.000.400
      • AEG
      • Profibus-Steckkarte Nr:2.000.000.393
      • AEG
      • Thyro-P 1P500-495HFASM
      • AEG
      • 1 Thyro-P Steuerger?t 2000000403
      • AEG
      • Thyro-A 2A400-130H1
      • AEG
      • Thyro-S 1S 400-45 H RL1-2.000.000.893
      • AEG
      • Thyro-P 1P500-37HASM
      • AEG
      • Thyro-P 1P500-280HFASM
      • AEG
      • Thyro-P 1P500-110HASM
      • AEG
      • Thyro-P 1P400-25HASM
      • AEG
      • THYRO P -1P 400 495HF
      • AEG
      • 6.000.016.474
      • AEG
      • Thyro-A 2A400-495HF RL1
      • AEG
      • 1S 400-130 H RL1
      • AEG
      • 1S 400-100 H RL1
      • AEG
      • AE 28 TDG 440D

       

      AEG AM 56Z BA 4

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