AEG
- 作為擁有36年以上歷史的直流電源產(chǎn)品*企業(yè),AE 為成千上萬的客戶提供服務,通過下列優(yōu)勢、解決客戶復雜的工藝問題,為客戶創(chuàng)造價值:
- 高產(chǎn)量
- 靶材使用壽命的延長,利用率提高
- 系統(tǒng)正常運行時間的延長
- 應用支持人員
- 支持能力
AE 的直流電源產(chǎn)品主要通過物理氣相沉積市場上主要使用的物理氣象沉積工藝——合金濺射以及與有反應氣體參與的反應濺射,AE電源廣泛應用于以下制造市場,包括:
- 導體(銅、鋁、鉭、鈦以及更新的異類材料)
- 板顯示器(薄膜晶體管、彩色濾光片、有機 LED)
- 據(jù)存儲(光存儲、磁存儲以及磁光存儲相結(jié)合)
- 陽能光伏電池(透明導電氧化物和硅沉積)
- 筑玻璃
- 進產(chǎn)品應用(用于光學裝置、工具涂層、塑料等的薄膜)
- Litmas® RPS 1501和3001遠程等離子源平臺
- Litmas® RPS 是采用高傳導、低表面面積結(jié)構(gòu)的*整合遠程感應式等離子源和供電系統(tǒng)。非常適合為晶圓預清洗、光致抗蝕劑剝離和原子層沉積 (ALD) 等工藝提供反應氣體。此外,其大功率密度和高傳導性使其成為后處理廢氣治理的理想平臺。
- Litmas RPS 可在不到3毫秒的時間內(nèi)提供高達3 kW 的穩(wěn)定射頻功率,從而能夠?qū)崿F(xiàn)90 nm 和300 nm制程的快速變化。
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- Litmas® RPS 前極管道 PFC 治理
- Litmas® RPS 系統(tǒng)是一種前極管道治理解決方案,可減少半導體制程的變暖影響。這個高性能的線性感應式等離子源*整合了2 MHz 電源和匹配電路。其在 CVD、蝕刻和灰化應用中的阻抗使用范圍很廣。
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- Xstream® 遠程等離子源
- 高效 Xstream® 遠程等離子源平臺產(chǎn)生來自穩(wěn)定的原料氣體的中性活性種,用于表面改性、腔室清洗、薄膜蝕刻以及等離子輔助沉積。
安裝在工藝腔室外的 Xstream 平臺整合了遠程等離子源、6 kW 或8 kW 的高效電源以及獲得的固態(tài)主動式匹配網(wǎng)絡。該網(wǎng)絡在一個腔室清洗源上擁有寬的商業(yè)化阻抗運行范圍。Xstream 遠程等離子源讓工藝工程師擁有的反應氣體工藝靈活性,從而提高了系統(tǒng)吞吐量,優(yōu)化了昂貴資源的使用。
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- AE Xstream 不允許在美國或歐洲銷售。
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AEG AM 56Z BA 4
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