橫川 YOKOKAWA 系列DD馬達，有內(nèi)轉(zhuǎn)子和外轉(zhuǎn)子兩種結(jié)構(gòu)類型來滿足更多應用需求。直徑從60mm-490mm、連續(xù)扭矩從1-1200N.m有十幾個大小可選規(guī)格，定位精度可達10arc-sec，重復定位精度可達0.5arc-sec。具有高剛性、高精度、低軸向、徑向跳動等優(yōu)點，被廣泛應用于半導體生產(chǎn)設備、光媒體、光學對位、定位檢測、精密數(shù)控機床、汽車裝配/檢測、液晶制造設備、屏幕貼合設備及科研等微精密制造業(yè)領域。  因為 YOKOKAWA 直驅(qū)馬達一體化的結(jié)構(gòu)，負載可直接安裝在DD馬達的安裝面上，所以由電機到工位盤之間沒有精度磨損，增加了設備的精度。因為沒有減速機的機械結(jié)構(gòu)，所以沒有像傳統(tǒng)AC伺服那樣的能量損失。用直接驅(qū)動方式使得通過程序改變工位變得容易。