規(guī)格參數(shù) | 單位 | |
1直線度 | μm | ±3μm/25mm, NTE±10μm/510mm |
1平面度 | ±3μm/25mm, NTE±10μm/510mm | |
重復精度(1μm分辨率) | ±3 (40μm光柵柵距) | |
重復精度(0.5μm分辨率) | ±1.5 (20μm光柵柵距) | |
重復精度(0.1μm分辨率) | ±1 (20μm光柵柵距) | |
重復精度(模擬量) | ±5 counts | |
X-Y正交性 | Arc-sec | 10 |
暫無信息 |
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參 考 價: | 面議 |
產(chǎn)品型號
品牌
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所在地蘇州市
更新時間:2025-03-01 08:55:04瀏覽次數(shù):18次
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