產(chǎn)品簡介:
用F37實時測量沉積率、沉積層厚度、光學(xué)常數(shù)(n和k值)和半導(dǎo)體以及電介質(zhì)層的均勻性。
樣品層:
可以測量平滑和半透明的,或者輕度吸收的薄膜。 這實際上包括那些使用在薄膜光伏產(chǎn)品內(nèi)的任何半導(dǎo)體材料。
產(chǎn)品特性:
*地提高生產(chǎn)率
快速—幾秒鐘完成測量
精確—測量精度高于±1%
低成本—幾個月就能回收其自身的成本
非侵入式—測試*在沉積室以外進行
易于使用—直觀的Windows™ 軟件
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