產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
監(jiān)控薄膜沉積zui強(qiáng)有力的工具。用F30光譜反射率系統(tǒng)可以實(shí)時(shí)測(cè)量沉積率、沉積層厚度、光學(xué)常數(shù)(n和k值)和半導(dǎo)體以及電介質(zhì)層的均勻性。
樣品層、分子束外延(MBE)和金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積(MOCVD)。可以測(cè)量平滑和半透明的,或者輕度吸收的薄膜。這實(shí)際上包括從氮化鎵鋁(AlGaN)直至鎵銦磷砷(GaInAsP)的任何半導(dǎo)體材料。
產(chǎn)品特性:
*地提高生產(chǎn)率
快速—幾秒鐘完成測(cè)量
精確—測(cè)量精度高于±1%a
低成本—幾個(gè)月就能回收其自身的成本
非侵入式—測(cè)試*在沉積室以外進(jìn)行
易于使用—直觀(guān)的 Windows™ 軟
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