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大氣機(jī)械手
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- 所在地 上海
更新時(shí)間：2016-01-07 14:19:45瀏覽次數(shù)：4973
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晶圓搬運(yùn)系列大氣機(jī)械手主要應(yīng)用于半導(dǎo)體加工過(guò)程中，是負(fù)責(zé)大氣端不同工位間晶圓傳送的關(guān)鍵自動(dòng)化設(shè)備。本系列大氣機(jī)械手采用輕量、高剛性手臂、高精度、高性能的AC伺服電機(jī)和諧波減速器，可實(shí)現(xiàn)高速平穩(wěn)的運(yùn)行。該機(jī)器人滿足潔凈環(huán)境運(yùn)動(dòng)件的潤(rùn)滑要求，保證機(jī)器人長(zhǎng)期平穩(wěn)運(yùn)行，并對(duì)潔凈環(huán)境無(wú)影響。采用新松公司具有的網(wǎng)絡(luò)型機(jī)器人控制器進(jìn)行控制，具有結(jié)構(gòu)緊湊、組態(tài)靈活和控制性能高的特點(diǎn)，可適應(yīng)不同的機(jī)器人本體，實(shí)現(xiàn)機(jī)器人控制器之間、機(jī)器人控制器同IC 裝備之間的通訊，便于組成不同的應(yīng)用系統(tǒng)。目前新松公司已經(jīng)具有單臂和雙臂兩種類型4個(gè)型號(hào)的，并且可以根據(jù)客戶的要求進(jìn)行定制，已有用戶應(yīng)用，并形成了系列化產(chǎn)品滿足不同用戶的要求。
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