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真空機(jī)械手
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- 所在地 上海
更新時間：2016-01-07 14:16:34瀏覽次數(shù)：4576
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產(chǎn)品簡介
晶圓搬運(yùn)系列真空機(jī)械手主要應(yīng)用于半導(dǎo)體加工過程中，是負(fù)責(zé)真空端不同工位間晶圓傳送的關(guān)鍵自動化設(shè)備。采用新松公司具有的網(wǎng)絡(luò)型機(jī)器人控制器進(jìn)行控制，具有結(jié)構(gòu)緊湊、組態(tài)靈活和控制性能高的特點，可適應(yīng)不同的機(jī)器人本體，實現(xiàn)機(jī)器人控制器之間、機(jī)器人控制器同IC 裝備之間的通訊，便于組成不同的應(yīng)用系統(tǒng)。目前新松公司已經(jīng)研制出單臂、雙臂、斯科拉型、蛙型等6個型號的大氣機(jī)械手，并且可以根據(jù)客戶的要求進(jìn)行定制，已有用戶應(yīng)用，并形成了系列化產(chǎn)品滿足不同用戶的要求。
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