HORIBA株式會社堀場制作所 的壓力不敏感型高性能質(zhì)量流量控制器: D500

高穩(wěn)定性質(zhì)量流量模塊—氣體流量控制不受上游和下游壓力波動差影響、PI（壓力不敏感型）質(zhì)量流量模塊

概要

最的壓力不敏感型高性能質(zhì)量流量控制器: D500

高穩(wěn)定性質(zhì)量流量模塊——氣體流量控制不受上游和下游壓力波動差影響、PI（壓力不敏感型）質(zhì)量流量模塊

特征

壓力不敏感性
高性能的壓力不敏感型功能可有效簡化氣體供應(yīng)系統(tǒng)

多量程,多氣體,多種壓力的解決方案
新功能允許用戶改變氣體種類、滿量程內(nèi)的流量,供應(yīng)壓力范圍

G-LIFE 自我檢測功能(氣體定律檢查集流節(jié)流方程)
*G-Life功能允許操作人員進行流量計自我監(jiān)測,通常會在三秒內(nèi)提高生產(chǎn)能力

高精度
*的三維調(diào)節(jié)已改進工藝氣體的流量精度

快速響應(yīng)
響應(yīng)速度＜0.8秒
已實現(xiàn)精準(zhǔn)且穩(wěn)定的流量控制

動態(tài)范圍
控制范圍：0.2% F.S. ~ 99% F.S.

制造: HORIBA STEC