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      上海楨盛測量系統(tǒng)有限公司

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      MEMS結(jié)構(gòu)振動(dòng)測試的顯微式激光測振系統(tǒng)

      參  考  價(jià):面議
      具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

      產(chǎn)品型號(hào)

      品牌

      廠商性質(zhì)代理商

      所在地上海

      更新時(shí)間:2018-07-24 17:13:06瀏覽次數(shù):1444次

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      MEMS結(jié)構(gòu)振動(dòng)測試的顯微式激光測振系統(tǒng)基于自混干涉技術(shù)的激光測振儀的構(gòu)造要比傳統(tǒng)的多普勒效應(yīng)的激光測振儀簡單得多。從半導(dǎo)體二極管出來的激光打到反射或散射表面后,一小部分背反射或背散射的光再次進(jìn)到激光腔體,然后產(chǎn)生干涉信號(hào),從中可以得到被測表面法向方向的位移 。
      • 結(jié)構(gòu)振動(dòng)測試的顯微式激光測振系統(tǒng)
      • 激光測振儀指標(biāo):

        量程: 1mm (p-p)             頻率范圍:0-50 KHz 20KHZ-3 MHz 

        分辨率: 0.2 nm s–1/√Hz      精度 +-1% (0-50KHZ),+-5%(20KHZ-3MHZ)

         

        產(chǎn)品系列:

               

                        顯微式三維掃描激光測振儀

        VSM-1000-MICRO顯微鏡激光測振儀

        基于自混干涉技術(shù)的激光測振儀的構(gòu)造要比傳統(tǒng)的多普勒效應(yīng)的激光測振儀簡單得多。從半導(dǎo)體二極管出來的激光打到反射或散射表面后,一小部分背反射或背散射的光再次進(jìn)到激光腔體,然后產(chǎn)生干涉信號(hào),從中可以得到被測表面法向方向的位移 。

        VSM-1000-MICRO有兩種激光。測量振動(dòng)的激光是紅外(波長1310nm),不可見的。紅外和不可見激光是*的眼睛安全的。另外一個(gè)紅色的指示激光是為不可見的紅外激光對中之用。為了不占滿攝像機(jī),紅色指示激光的功率減到1mW,光斑大小為10um.激光測振儀被附在顯微鏡的特殊調(diào)節(jié)架上,邊通濾波鏡主要用以紅外激光和可見激光的反射,然后分別聚焦到測試目標(biāo)上。濾波鏡能夠

        傳遞20%從測試表面上散射回來的光,并且在CMOS攝像機(jī)的傳感器上聚焦。為了能對中方便,顯微鏡裝在一個(gè)俯仰、傾斜和旋轉(zhuǎn)位移臺(tái)上。顯微鏡激光測振儀測量測試表面的法向分量的振動(dòng)。

                 

        應(yīng)用 :本產(chǎn)品適用于硅片、IC、LCD、TFT、PCB、MEMS激光加工、晶片測試、半導(dǎo)體材料、線束加工蝕刻、液晶電池蓋、導(dǎo)線框架等產(chǎn)品的檢查觀察。

        也適用于幾何形狀的顯微觀測,并且有三維的計(jì)量功能。因此是精密零件,集成電路,半導(dǎo)體芯片,光伏電池,光學(xué)材料等行業(yè)的*儀器。

             

        光學(xué)指標(biāo) :

        激光類型

        Pout < 1 mW @ 650 nm (collimated)
        Pout < 15 mW @ 1310 nm (focused)

        激光等級:

        · Class 2 @ 650 nm (可見
        · Class 1M @ 1310 nm (不可見)

        激光頭尺寸:50 mm x 70 mm x 105 mm

         

        控制單元尺寸:12.5 cm x 15.5 cm x 29.6 cm

        彩色攝像機(jī)指標(biāo)

      • 130萬像素(1280 x 1024) 黑白,彩色和近紅外CMOS傳感器
      • 像素 1280 x 1024 Pixels
      • 工作距離: 21.7 mm
      • 激光深度: 0.048 mm
      • 光斑直徑: 4.0 µm 
      • 范圍:300um x 250 um (X50目鏡)

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