• 特點及主要應(yīng)用領(lǐng)域

氣體質(zhì)量流量控制器（流量計）Mass gas flow controller（meter）縮寫為MFC(MFM)）是對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制的設(shè)備。

S49 32/MT 質(zhì)量流量控制器(流量計)特點：

☆耐壓高及適用于真空條件下工作。低壓降。工作壓力范圍寬，氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。

☆主體采用不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，氣密材料采用VITON®、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。

☆具有精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動、工作穩(wěn)定可靠。

☆可任意位置安裝。電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統(tǒng)或自動控制系統(tǒng)配合。

☆配合MT-60 系列流量積算儀，可對氣體的瞬時流量和累積流量進行精確計量。

S49 32/MT 質(zhì)量流量控制器(流量計)主要應(yīng)用領(lǐng)域：

半導(dǎo)體制造行業(yè)的氣體流量控制；

分析儀器設(shè)備的氣體計量與控制；

各種形式的真空鍍膜設(shè)備；

環(huán)境檢測與分析設(shè)備；

化工、石化、食品、冶金、光纖熔煉等行業(yè)氣體流量檢測和控制；

特種材料表面處理裝置與燃燒控制；

混氣配氣系統(tǒng)和泄露探測系統(tǒng)等。

2. S49系列質(zhì)量流量控制器(流量計)型號

S49 32/MT 系列質(zhì)量流量控制器(流量計)，S49為質(zhì)量流量控制器(流量計)產(chǎn)品，32/MT為本公司此產(chǎn)品設(shè)計序列號。

質(zhì)量流量計用于對氣體的質(zhì)量流量精確測量計量；

質(zhì)量流量控制器(流量計)不但具有質(zhì)量流量計的測量計量功能，還具有自動控制氣體的質(zhì)量流量功能。

型式批準(zhǔn)證書：2011F215-11

執(zhí)行Q/CYHMT001-2011企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

許可證編號：京制01050063號

3.主要技術(shù)指標(biāo)

質(zhì)量流量控制器(流量計)流量出廠通常用氮氣(N2)標(biāo)定。

質(zhì)量流量單位為：mL/min（毫升/分鐘）；(SCCM行業(yè)標(biāo)準(zhǔn))

L/min （升/分鐘）。  (SLM行業(yè)標(biāo)準(zhǔn))

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)為：溫度----273.15K（0℃）；

            氣壓----101325Pa(760mmHg)

F.S(Full Scale):表示滿量程值

表1 S49 32/MT質(zhì)量流量控制器(流量計)技術(shù)指標(biāo)

• 工作原理

圖一 熱式質(zhì)量流量控制器(流量計)的工作原理

    質(zhì)量流量控制器(流量計)由質(zhì)量流量傳感器，分流器通道，流量控制調(diào)節(jié)閥和放大控制電路等部件組成。

本流量控制器利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細(xì)管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成，即熱分布式流量計（Thermal Profile Flowmeter）。

采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，可以不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進行放大，然后與設(shè)定的電壓進行比較，用所得的差值信號去驅(qū)動控制調(diào)節(jié)閥門，通過閉環(huán)，去控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。

分流器在主通道和毛細(xì)管間產(chǎn)生層流，控制輸出的流量檢測電壓與流過通道的流量成比例。

與之配套使用的MT-50 系列流量顯示儀備有±15V直流電源，3 位半數(shù)字電壓表，設(shè)定電位器，外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開關(guān)，調(diào)零等。為質(zhì)量流量計或控制器提供工作電源，設(shè)定控制和顯示等功能。控制器的設(shè)定輸入、流量輸出信號均為電壓形式，量程范圍為0～+5V。質(zhì)量流量控制器(流量計)與MT-50 流量顯示儀連接后的工作原理如圖1 所示。

控制器一般與MT-50，MT-51 或與之相兼容的流量顯示儀連接。

如與MT-51 數(shù)字式流量顯示儀連接，則構(gòu)成數(shù)字式流量顯示控制。該數(shù)字式流量顯示儀提供RS-232C接口，或RS-485 接口，Modbus協(xié)議，無需附加A/D,D/A 轉(zhuǎn)換卡，而實現(xiàn)與計算機網(wǎng)絡(luò)電氣連接、以及與組態(tài)軟件的連接。

如S49 32/MT 流量控制器直接與計算機連接,則需要用戶自行提供電源和A/D,D/A 轉(zhuǎn)換卡等。

控制操作一般在流量顯示儀上進行。當(dāng)設(shè)定與“內(nèi)”設(shè)相連時，由流量顯示儀上的設(shè)定電位器控制流量。當(dāng)與“外”設(shè)相連時，由用戶另外提供的外部（0～+5）V 電壓控制流量。

在流量顯示儀的顯示面板上設(shè)置有三位閥門控制開關(guān)，當(dāng)置“關(guān)閉”位時，閥門關(guān)閉；當(dāng)置“清洗”位時，閥門開到zui大，以便氣路清洗，或臨時作為流量計使用；當(dāng)置于“閥控”時，則按設(shè)定電位器的數(shù)值自動控制流量。（參考流量顯示儀的使用說明書）

    注意：在“清洗”時，實際氣流將超過滿量程若干倍，此時流量顯示值不準(zhǔn)確，還可能出現(xiàn)流量增大顯示反而減小的現(xiàn)象，這是由熱式質(zhì)量流量計的特性決定，屬于正?，F(xiàn)象。對不希望出現(xiàn)大氣流“清洗”的場合，用戶應(yīng)自行限制。。

不*長時間置“清洗”位，此時閥門開度zui大，而利用流量控制器*做流量計或開啟閥使用。因為此時電磁閥、線路等將會流過很大的電流，因而加速其熱老化損壞。

5. 安裝和接線

5.1 S49 32/MT 系列質(zhì)量流量控制器(流量計)外形及安裝尺寸如圖二所示

圖二 S49 32/MT 系列質(zhì)量流量控制器(流量計)外形及安裝尺寸

注意：圖中標(biāo)明的高度，是未加電纜插頭的高度。

5.2 入口和出口氣路接頭

可以根據(jù)用戶的不同需求，選用兩種類型：

1. 雙卡套（Swagelok）；a.Φ6mm; b.Φ3; c. 1/4″;d.或其他。

2. VCR. a. Φ1/4″;b. Φ3/8″.

連接方法如圖三，圖四所示:

圖三 雙卡套接頭的連接方法

圖四 VCR 接頭的連接方法

質(zhì)量流量控制器(流量計)與氣路的連接，可以根據(jù)不同的要求，選用不同的管件，如金屬管，塑料管等等。 S49 32/MT 系列質(zhì)量流量計和流量控制器的缺省連接形式為雙卡套，接管尺寸為Φ6。