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微位移測量激光干涉儀角度擺動(dòng)檢測干涉儀

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公司名稱上海貝丁漢工業(yè)自動(dòng)化設(shè)備有限公司
品牌
型號(hào)
所在地上海市
廠商性質(zhì)代理商
更新時(shí)間2022/8/19 17:18:35
訪問次數(shù)660

產(chǎn)品標(biāo)簽:

微位移測量激光干涉儀角度擺動(dòng)檢測干涉儀

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公司介紹主營產(chǎn)品

上海貝丁漢工業(yè)自動(dòng)化設(shè)備有限公司——主要從事各種進(jìn)口儀器儀表、機(jī)械設(shè)備、電子產(chǎn)品及其配件等的銷售和技術(shù)服務(wù)工作。為美國Hamar Laser Instruments Inc公司中國總代理，德國JENAer公司中國總代理和匈牙利CE Optics中國總代理。經(jīng)營的主要產(chǎn)品包括激光直線度測量儀、激光平面度測量儀、激光平行度測量儀、激光垂直度測量儀、孔同軸度檢測儀、主軸對中儀、孔對心軸對中檢測儀、激光幾何測量系統(tǒng)、雙頻激光干涉儀、多點(diǎn)溫度測量儀、相位波前角色散測量儀、材料色散測量儀、載波包絡(luò)相位調(diào)諧儀，及瑞士Soclair Electronic公司PT-100溫度變送器、熱電偶溫度變送器、高精度電壓信號(hào)轉(zhuǎn)換器、高精度電流信號(hào)轉(zhuǎn)換器、橋路信號(hào)轉(zhuǎn)換器、頻率變送器、模擬信號(hào)轉(zhuǎn)頻率模塊等。

本公司的激光儀器主要為激光準(zhǔn)直、對中、校正和系統(tǒng)檢測。功能包括各種機(jī)械設(shè)備和部件的平面度檢測、直線度檢測、平行度檢測、垂直度檢測、孔的同軸度檢測、車床和車削中心的主軸對中檢測、聯(lián)軸器和電機(jī)軸的對中校正檢測等。廣泛應(yīng)用于機(jī)床加工中心幾何量檢測、航空航天設(shè)備的組裝和工裝的校正、船舶制造工業(yè)標(biāo)線和艉軸管檢測、汽車發(fā)動(dòng)機(jī)同軸度、電廠汽輪機(jī)隔板同軸度、各種印刷造紙注塑設(shè)備輥軸的平行度的檢測，及機(jī)床的定位、補(bǔ)償和運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的微位移檢測等。

信號(hào)轉(zhuǎn)換器類儀表用于將各種重量、溫度、壓力、電壓、電流和頻率等信號(hào)轉(zhuǎn)換為標(biāo)準(zhǔn)的工業(yè)控制信號(hào)，用于系統(tǒng)的集成和控制。廣泛應(yīng)用于機(jī)械和設(shè)備工程、汽車、倉儲(chǔ)、輸送、印刷、門控、化工、冶金、石油、電力、水利、鋼鐵、輕工、制藥、造紙、制革、噴涂、水泥、玻璃、食品、陶瓷、化纖、塑料、飼料、煤炭、紡織、農(nóng)業(yè)和包裝等行業(yè)。歡迎您選購我們代理經(jīng)銷的各種產(chǎn)品，我們將以飽滿的熱情，周到的服務(wù)，客戶*的原則，為您提供滿意的產(chǎn)品和服務(wù)。

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雙頻激光干涉儀,多點(diǎn)溫度測量儀,材料色散測量儀,相位波前角色散測量儀,載波包絡(luò)相位調(diào)諧儀,載波包絡(luò)相移測量儀,激光對中儀,激光平面度測量儀,激光同軸度測量儀

產(chǎn)品簡介在線詢價(jià)

真正意義上的雙頻激光干涉儀，兩個(gè)光束的頻差為640MHz。請用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”概念的區(qū)別。德國耶拿爾公司是為數(shù)不多的雙頻激光干涉儀的制造商，*雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩(wěn)定。

微位移測量激光干涉儀角度擺動(dòng)檢測干涉儀產(chǎn)品信息

產(chǎn)品名稱：微位移測量激光干涉儀角度擺動(dòng)檢測干涉儀

產(chǎn)品型號(hào)：ZLM800

產(chǎn)品產(chǎn)地：德國

制造商：德國耶拿爾測量技術(shù)有限公司

詳細(xì)介紹:

ZLM800微位移測量激光干涉儀——雙頻激光干涉儀，主要用于微位移部件的測量，角度變化量的監(jiān)測，移動(dòng)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)情況的檢測，及光刻機(jī)幾何量的測量，數(shù)控機(jī)床幾何量的測量，zui多可實(shí)現(xiàn)六軸聯(lián)動(dòng)。具有以下性能優(yōu)勢：

l 真正意義上的雙頻激光干涉儀，兩個(gè)光束的頻差為640MHz。請用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”概念的區(qū)別。德國耶拿爾公司是為數(shù)不多的雙頻激光干涉儀的制造商，*雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩(wěn)定。

l 全部部件皆在德國生產(chǎn)制造，絕非為了降低成本而在第三方國家進(jìn)行部件加工。光學(xué)組件全部采用蔡司光學(xué)鏡，是世界上*一家將*的蔡司光學(xué)鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的產(chǎn)品制造商。

l 激光器壽命更長，可達(dá)20000小時(shí)，激光穩(wěn)頻精度高，一小時(shí)內(nèi)為±0.002ppm，在產(chǎn)品壽命內(nèi)可達(dá)±0.02ppm。

l 干涉鏡采用差分干涉原理，系統(tǒng)精度更高，可達(dá)±0.4ppm。

l 計(jì)算機(jī)輔助光路調(diào)整，調(diào)整結(jié)果更準(zhǔn)確。

l 采樣頻率更快，zui高達(dá)1MHz，可在0.001Hz-1MHz之間進(jìn)行選擇。

l 被測物體zui大速度16m/s（可選）；采用高精度AE950 PCI數(shù)據(jù)處理器，分辨率達(dá)0.6nm（當(dāng)移動(dòng)速度為1m/s時(shí)，線性分辨率更可高達(dá)為0.1nm）。

l 無加速度限制；當(dāng)光線微弱時(shí)，性能也十分穩(wěn)定。

l 信號(hào)延時(shí)<200ns；對電磁干擾不敏感。

l 對于多軸聯(lián)動(dòng)的復(fù)雜光路測量和微位移測量，ZLM800型是理想的選擇。

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)：ZLM800	使用高性能數(shù)據(jù)處理器AE950 PCI
He-Ne激光平均波長：	632.8 nm
激光穩(wěn)頻精度：	一小時(shí)2x10^-9（±0.002ppm）壽命內(nèi)2x10^-8（±0.02ppm）
系統(tǒng)精度（0-40℃時(shí)）：	±0.4ppm
光束直徑：	6mm （可選3.2mm）
激光管突發(fā)zui大輸出功率：	1mW （激光等級2）
每束光可測量的軸數(shù)：	zui多6個(gè)
線性測量距離：	40m，可擴(kuò)展為120m
角度測量范圍：	± 15°，20m軸線范圍
平面度測量范圍：	20m行程
直線度測量范圍：	± 5mm，2m或10m行程，選用角度干涉儀可測30m行程
垂直度測量范圍：	± 5mm，2m或10m行程， 30m行程需用角度干涉儀
zui大速度：	4m/s，可選16m/s 80rad/s，角速度
zui大加速：	無限制
zui高采樣頻率：	內(nèi)部1MHz，外部40MHz
預(yù)熱時(shí)間：	10分鐘
精度/非線性：	±0.3nm （角隅反射鏡） ±0.1nm （平面反射鏡）
距離測量分辨率：	0.6nm （角隅反射鏡） 0.3nm （平面反射鏡） 0.1nm 可選
距離測量精度：（20°±0.5°）使用AUK時(shí) （20°±0.5°）真空中時(shí)	±0.4ppm （μ/m） ±0.08 （±0.02）ppm （μ/m）
線性度測量分辨率：	0.6nm （角隅反射鏡） 0.3nm （平面反射鏡） 0.1nm 可選
線性度測量精度：（20°±0.5°）使用AUK時(shí) （20°±0.5°）真空中時(shí)	±0.4ppm （μ/m） ±0.08 （±0.02）ppm （μ/m）
速度測量精度：	±0.5ppm實(shí)測值
角度測量分辨率：	0.015μrad （3x10^-3弧秒）
角度測量精度：	±0.1ppm實(shí)測值
平面度測量分辨率：	0.015μrad （3x10^-3弧秒）
平面度測量精度：	±0.2%實(shí)測值 ±0.05 弧度/米運(yùn)行距離
直線度測量分辨率：	36nm，10m行程 7.25nm，2m行程
直線度測量精度：	±0.5%實(shí)測值，2m行程 ± 2.5%實(shí)測值，10m行程
垂直度測量分辨率：	36nm，10m行程 7.25nm，2m行程
垂直度測量精度：	±0.5%實(shí)測值2m，± 0.5弧秒* ±2.5%實(shí)測值10m，± 0.5弧秒*
數(shù)據(jù)接口：	積分信號(hào) 32 Bit （實(shí)時(shí)時(shí)間） Dt » 20 ns
數(shù)據(jù)分析標(biāo)準(zhǔn)：	ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作環(huán)境：	溫度：15°C-30°C 濕度：<90%無冷凝
儲(chǔ)存環(huán)境：	溫度：10°C-40°C 濕度：<95%無冷凝

應(yīng)用案例

以下是為*設(shè)計(jì)的ZLM800雙頻激光干涉儀兩個(gè)應(yīng)用案例。在*個(gè)案例中，用兩個(gè)3軸角度干涉儀分別監(jiān)視兩個(gè)擺鏡的擺動(dòng)，實(shí)時(shí)測試兩個(gè)擺鏡對應(yīng)量（俯仰、偏擺和位移）的差異情況。在第二個(gè)案例中，用一個(gè)3軸角度干涉儀來測試擺鏡的鏡面擺動(dòng)情況，2個(gè)單軸位移干涉儀檢測一個(gè)兩軸位移平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)情況。

以下是為國內(nèi)某研究所某項(xiàng)目設(shè)計(jì)的ZLM800測量系統(tǒng)。用戶預(yù)先把被測物體放置在密閉箱中，密閉箱留有觀察窗口。所需要測量的數(shù)據(jù)是被監(jiān)視目標(biāo)Ⅰ、被監(jiān)視目標(biāo)Ⅱ的X、Y向的角度變化量，以及這兩個(gè)目標(biāo)在Z方向的相對變化量。

ZLM800部分光路圖示例和部件示意圖

關(guān)鍵詞：激光干涉儀數(shù)控機(jī)床處理器