產(chǎn) 品 說 明 |
硅烷作為一種提供硅組分的氣體源 ,廣泛應(yīng)用于微電子、光電器件以及高純度多晶硅生產(chǎn) ,潛在應(yīng)用前景更為廣闊。隨著硅烷應(yīng)用領(lǐng)域的擴大 ,硅烷安全使用和處理已成為首要的問題。通過對硅烷著火的研究和事故分析表明 ,硅烷的危險特性在于它與氧反應(yīng)的*活性 :自燃 ,著火下限低 ,燃燒能量大。由于硅烷的自燃特性 ,對它的安全防范 ,與一般的易燃易爆物質(zhì)相比 ,除一些共同點之外 ,還有顯著的不同之處。在操作中必須預(yù)防高濃度硅烷與氧接觸發(fā)生自燃著火。同時還必須防止硅烷泄漏在有限的空間內(nèi)與氧混合,形成不穩(wěn)定爆炸氣團。 | |
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硅烷作為一種提供硅組分的氣體源 ,廣泛應(yīng)用于微電子、光電器件以及高純度多晶硅生產(chǎn) ,潛在應(yīng)用前景更為廣闊。隨著硅烷應(yīng)用領(lǐng)域的擴大 ,硅烷安全使用和處理已成為首要的問題。通過對硅烷著火的研究和事故分析表明 ,硅烷的危險特性在于它與氧反應(yīng)的*活性 :自燃 ,著火下限低 ,燃燒能量大。由于硅烷的自燃特性 ,對它的安全防范 ,與一般的易燃易爆物質(zhì)相比 ,除一些共同點之外 ,還有顯著的不同之處。在操作中必須預(yù)防高濃度硅烷與氧接觸發(fā)生自燃著火。同時還必須防止硅烷泄漏在有限的空間內(nèi)與氧混合,形成不穩(wěn)定爆炸氣團。